技術(shù)編號：1428998
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種，包括如下步驟步驟一、在沾染了碎屑的晶圓上涂覆一層光刻膠；步驟二、用可溶解所述光刻膠的溶劑對步驟一得到的晶圓進(jìn)行清洗；步驟三、對步驟二得到的晶圓依次進(jìn)行干法去膠處理和濕法去膠處理。這種通過在沾染了碎屑的晶圓表面涂覆一層光刻膠，從而光刻膠會填滿臺階和臺階之間的空隙并將碎屑粘附住，接著采用可溶解上述光刻膠的溶劑對晶圓進(jìn)行清洗，從而使得碎屑會隨著光刻膠一起被可溶解光刻膠的溶劑洗去。相對于傳統(tǒng)的采用高壓噴水和刷子清洗的方法，這種可以去除高臺階晶圓上...
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