技術編號：1438399
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型提出一種清潔裝置及檢測機臺，清潔裝置包括清潔棒、氣管以及固定臂；氣管的一端設置在清潔棒內；氣管的另一端連接供氣單元；清潔棒與固定臂連接；清潔棒設有通孔；檢測機臺使用上述清潔裝置；當半導體晶圓放置在對準臺進行對準時，即使用清潔裝置對所述半導體晶圓表面進行氣吹清理，從而減少在半導體晶圓表面顆粒，增加檢測結果的準確性，并且由于是在對準臺對準時便對半導體晶圓進行清理，不會額外占用清理時間，縮短了檢測的時間，提高了生產(chǎn)效率。專利說明清潔裝置及檢測機臺[00...
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