技術(shù)編號(hào)：1462252
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種晶圓清洗機(jī)的烘干機(jī)構(gòu)，包括至少一個(gè)呈圓柱狀的氮?dú)鈬娮?，具有一個(gè)平面的盛放臺(tái)和掩板；所述盛放臺(tái)置于一個(gè)平臺(tái)上；所述掩板的大小不小于盛放臺(tái)的平面，并且所述掩板平面與盛放臺(tái)平面形狀相似，所述掩板設(shè)置于盛放臺(tái)正上方一定距離處，所述掩板上均勻設(shè)置有對(duì)應(yīng)氮?dú)鈬娮靷€(gè)數(shù)的通孔，所述通孔的大小與氮?dú)鈬娮煜噙m應(yīng)；所述每個(gè)氮?dú)鈬娮齑┩敢粋€(gè)通孔，并且所述氮?dú)鈬娮靽姵龅獨(dú)獾囊欢苏龑?duì)盛放臺(tái)。本實(shí)用新型采用掩板遮擋外溢的氮?dú)?，確保壓縮的氮?dú)饽軌蛉孔饔迷诰A表面，將其...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。