技術(shù)編號：1464444
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型公開了一種具有多層結(jié)構(gòu)的硅片清洗裝置，包括設(shè)在機(jī)架上的清洗筒，清洗筒的蓋體內(nèi)面設(shè)有清洗部件；清洗筒內(nèi)設(shè)有轉(zhuǎn)盤；清洗筒的下方設(shè)有驅(qū)動轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動的電動機(jī)；轉(zhuǎn)盤表面對稱地固定有數(shù)個定位體，各定位體相向側(cè)形成有多層用于滑入并嵌置治具的滑槽，滑槽朝向轉(zhuǎn)盤中心的一端開放，構(gòu)成治具的滑入口，相對滑入口的另一端封閉，形成對治具的限位部，且由上至下各層滑槽的限位部逐漸靠近轉(zhuǎn)盤中心；各治具的兩端嵌置在相鄰定位體的相對應(yīng)的滑槽中，形成多層排列的結(jié)構(gòu)；各治具承載有硅片載盤...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。