技術編號:2007613
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種搬送及分斷玻璃板等脆性材料基板的裝置。 背景技術先前,在分斷玻璃板等脆性材料基板時,是準備搬送裝置、刻劃裝置以及斷開裝置,利用各裝置來進行處理。即,玻璃板被搬送裝置載置到刻劃裝置的平臺上,在此于玻璃 板上形成分斷槽。其次,形成有分斷槽的玻璃板被搬送裝置搬送到斷開裝置的平臺上,在此 沿著分斷槽分斷玻璃板。例如,在日本專利特開平7-276174號公報中所揭示的工件加工方法以及裝置中, 是利用中間搬送機械手(robot)在刻劃平臺(scribe t...
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