技術(shù)編號：2695988
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種平板式光刻板，它包括石英基板，所述的石英基板的上表面的預(yù)定位置蝕刻有凹槽，所述的凹槽內(nèi)填充有鉻，所述的鉻與所述的石英基板的上表面相平齊。由于采用上述技術(shù)方案，可以在石英的一個表面制作出所需的圖形，然后再其上鍍鉻，再將表面多余的鉻通過CMP的方式去除，減少了光刻板在重復(fù)使用過程中的圖形失真。專利說明平板式光刻板[0001]本發(fā)明涉及一種LED制程中的設(shè)備。背景技術(shù)[0002]光刻掩模板一般用石英玻璃作為基體，采用石英是由于其優(yōu)良的近紫外透過率。...
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