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      一種可提供多色宏觀檢查光源的晶圓檢查光學(xué)顯微鏡的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):2734940

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      本實(shí)用新型涉及光學(xué)顯微鏡,特別涉及一種可提供多色宏觀檢查光源的晶 圓檢查光學(xué)顯微鏡。背景技水在半導(dǎo)體器件制作完成后,需通過晶圓檢查光學(xué)顯微鏡對(duì)其進(jìn)行外觀檢查, 以檢出具有明顯會(huì)影響器件質(zhì)量的外觀缺陷,所述外觀缺陷包括破損、裂紋、 劃痕、附著物或污染等,對(duì)所述外觀缺陷的檢查包括宏觀檢查和微觀檢查?,F(xiàn)晶圓檢查光學(xué)顯微鏡中用于提供宏觀檢查的宏觀光源模塊只提供白光, 通常的晶圓只在白光下就能檢查出其上的外觀缺陷,但像生成有反射型液晶(Liquid Crystal ...
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