專利名稱：一種可提供多色宏觀檢查光源的晶圓檢查光學(xué)顯微鏡的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及光學(xué)顯微鏡，特別涉及一種可提供多色宏觀檢查光源的晶 圓檢查光學(xué)顯微鏡。背景技水在半導(dǎo)體器件制作完成后，需通過晶圓檢查光學(xué)顯微鏡對其進(jìn)行外觀檢查， 以檢出具有明顯會(huì)影響器件質(zhì)量的外觀缺陷，所述外觀缺陷包括破損、裂紋、 劃痕、附著物或污染等，對所述外觀缺陷的檢查包括宏觀檢查和微觀檢查。現(xiàn)晶圓檢查光學(xué)顯微鏡中用于提供宏觀檢查的宏觀光源模塊只提供白光， 通常的晶圓只在白光下就能檢查出其上的外觀缺陷，但像生成有反射型液晶(Liquid Crystal on Silicon, LCOS )芯片等元件的晶圓只有在綠光下才更容易發(fā) 現(xiàn)外觀缺陷，故只提供白光進(jìn)行宏觀檢查難以確保晶圓芯片上的外觀缺陷被完 全檢查出來。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種可提供多色宏觀檢查光源的晶圓檢查光學(xué) 顯微鏡，通過所述晶圓檢查光學(xué)顯微鏡可大大提高宏觀檢查的精確性。本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的 一種可提供多色宏觀檢查光源的晶圓檢 查光學(xué)顯微鏡，該光學(xué)顯微鏡包括用于對晶圓進(jìn)行宏觀檢查的宏觀檢查單元、 用于對晶圓進(jìn)行微觀檢查的微觀檢查單元、用于載送晶圓至檢查區(qū)域的晶圓載 送機(jī)構(gòu)以及用于控制宏觀檢查單元、微觀檢查單元、晶圓栽送機(jī)構(gòu)對晶圓進(jìn)行 檢查的控制模塊，其中，該宏觀檢查單元具有用于提供宏觀檢查光源的宏觀光' 源模塊，該宏觀光源模塊包括光源燈以及連接在光源燈上的光源輸出單元，該 宏觀光源模塊的光源燈為多色燈，該宏觀光源模塊還包括一連接至光源燈的光 源顏色選擇單元，用于供使用者選用光源燈的顏色。
在上述的可提供多色宏觀檢查光源的晶圓檢查光學(xué)顯微鏡中，該光源燈為發(fā)光二級管(Light-Emitting Diode, LED)。在上述的可提供多色宏觀檢查光源的晶圓檢查光學(xué)顯微鏡中，該光源輸出 單元為光纖。與現(xiàn)有的晶圓檢查光學(xué)顯微鏡只提供白光進(jìn)行宏觀檢查而使有些晶圓上的 外觀缺陷很難被檢出相比，本實(shí)用新型中提供了多色光進(jìn)行宏觀檢查，使用者 可依據(jù)晶圓上不同的芯片選用不同顏色的光，如此可確保晶圓檢查光學(xué)顯微鏡 進(jìn)行宏觀檢查的精確性和可靠性。


本實(shí)用新型的可提供多色宏觀檢查光源的晶圓檢查光學(xué)顯微鏡由以下的實(shí) 施例及附圖給出。圖1為本實(shí)用新型的可提供多色宏觀檢查光源的晶圓檢查光學(xué)顯微鏡的方 框圖；圖2為圖1中宏觀光源模塊的方框圖。
具體實(shí)施方式
以下將對本實(shí)用新型的可提供多色宏觀檢查光源的晶圓檢查光學(xué)顯微鏡作 進(jìn)一步的詳細(xì)描述。參見圖1，本實(shí)用新型的可提供多色宏觀檢查光源的晶圓檢查光學(xué)顯微鏡l 包括宏觀檢查單元IO、微觀檢查單元ll、晶圓載送機(jī)構(gòu)12和控制模塊13。宏觀檢查單元10用于進(jìn)行晶圓的宏觀檢查，其包括宏觀光源模塊100和宏 觀檢查臺(tái)101。宏觀光源模塊IOO用于提供宏觀檢查的光源。宏觀檢查臺(tái)101用 于置放晶圓進(jìn)行宏觀檢查，其在宏觀光源模塊100所提供的光照射下進(jìn)行旋轉(zhuǎn)， 以供多角度的對晶圓進(jìn)行宏觀檢查。微觀檢查單元11用于進(jìn)行晶圓的微觀檢查。晶圓載送機(jī)構(gòu)12用于載送晶圓至檢查區(qū)域，當(dāng)進(jìn)行宏觀檢查時(shí)，晶圓載送 機(jī)構(gòu)12將晶圓載送至宏觀檢查臺(tái)IOI上，當(dāng)進(jìn)行孩i觀檢查時(shí)，晶圓載送機(jī)構(gòu)12 將晶圓載送至微觀檢查單元11 。 控制模塊13用于控制宏觀檢查單元10、微觀檢查單元11、晶圓載送機(jī)構(gòu) 12對晶圓進(jìn)行宏觀檢查和微觀檢查。參見圖2,上述宏觀光源模塊100包括光源燈100a、光源輸出單元100b和 光源顏色選擇單元100c，其中，所述光源燈100a為多色燈，所述光源輸出單元 100b連接在光源燈100a上，所述光源顏色選擇單元100c連"l矣至光源燈100a上， 用于供使用者選用光源燈100a的顏色。較佳的所述光源燈100a可實(shí)施為多色 發(fā)光二級管，所述光源輸出單元100b可實(shí)施為光纖。以下將詳述通過本實(shí)用新型的可提供多色宏觀檢查光源的晶圓檢查光學(xué)顯 微鏡l對晶圓進(jìn)行檢查的過程首先，通過晶圓載送機(jī)構(gòu)12將晶圓載送至宏觀 檢查臺(tái)101上；然后，通過光源顏色選擇單元100c選擇所檢芯片應(yīng)使用的光源 100a;接著，宏觀檢查臺(tái)101旋轉(zhuǎn)以供使用者在光源100a所提供的光下對所檢 晶圓進(jìn)行多方位的宏觀檢查；之后通過晶圓載送機(jī)構(gòu)12將晶圓載送至微觀檢查 單元11進(jìn)行微觀檢查。綜上所述，本實(shí)用新型提供了多色光進(jìn)行宏觀檢查，使用者可依據(jù)不同的 芯片選用不同顏色的光，如此可確保晶圓檢查光學(xué)顯微鏡進(jìn)行宏觀檢查的精確 性和可靠性。
權(quán)利要求1、一種可提供多色宏觀檢查光源的晶圓檢查光學(xué)顯微鏡，該光學(xué)顯微鏡包括用于對晶圓進(jìn)行宏觀檢查的宏觀檢查單元、用于對晶圓進(jìn)行微觀檢查的微觀檢查單元、用于載送晶圓至檢查區(qū)域的晶圓載送機(jī)構(gòu)以及用于控制宏觀檢查單元、微觀檢查單元、晶圓載送機(jī)構(gòu)對晶圓進(jìn)行檢查的控制模塊，其中，該宏觀檢查單元具有用于提供宏觀檢查光源的宏觀光源模塊，該宏觀光源模塊包括光源燈以及連接在光源燈上的光源輸出單元，其特征在于，該宏觀光源模塊的光源燈為多色燈，該宏觀光源模塊還包括一連接至光源燈的光源顏色選擇單元，用于供使用者選用光源燈的顏色。
2、 如權(quán)利要求1所述的可提供多色宏觀檢查光源的晶圓檢查光學(xué)顯微鏡， 其特征在于，該光源燈為發(fā)光二級管。
3、 如權(quán)利要求1所述的可提供多色宏觀檢查光源的晶圓檢查光學(xué)顯微鏡， 其特征在于，該光源輸出單元為光纖。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種可提供多色宏觀檢查光源的晶圓檢查光學(xué)顯微鏡。現(xiàn)有的晶圓檢查光學(xué)顯微鏡只能提供白光進(jìn)行宏觀檢查致使有些晶圓表面的缺陷很難被檢查出來。本實(shí)用新型的晶圓檢查光學(xué)顯微鏡包括用于對晶圓進(jìn)行宏觀檢查的宏觀檢查單元、用于對晶圓進(jìn)行微觀檢查的微觀檢查單元、用于載送晶圓至檢查區(qū)域的晶圓載送機(jī)構(gòu)以及用于控制上述構(gòu)件進(jìn)行晶圓檢查的控制模塊，其中，該宏觀檢查單元具有用于提供宏觀檢查光源的宏觀光源模塊，該宏觀光源模塊包括互連的光源燈和光源輸出單元以及用于供使用者選用光源燈顏色的光源顏色選擇單元，其中，該宏觀光源模塊的光源燈為多色燈。采用本實(shí)用新型能提高晶圓檢查光學(xué)顯微鏡進(jìn)行宏觀檢查的精確性和可靠性。
文檔編號G02B21/06GK201035212SQ20072006798
公開日2008年3月12日 申請日期2007年3月20日 優(yōu)先權(quán)日2007年3月20日
發(fā)明者莊祈龍, 俊 許, 亮 陳 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司