技術(shù)編號(hào):2743918
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,尤其是一種原始對(duì)中裝置和系統(tǒng)。 背景技術(shù)在制備晶閘管的過(guò)程中,需要通過(guò)光刻在硅晶圓片表面形成特定的器件 圖形,其中,器件圖形與晶圓片之間的原始記號(hào)對(duì)準(zhǔn)同心度(即原始對(duì)中) 對(duì)后續(xù)相關(guān)工序的品質(zhì)有很大的影響。所謂原始對(duì)中,就是在晶圓片上做光 刻標(biāo)記之前,對(duì)晶圓片和光刻板圖案的圓心進(jìn)行的對(duì)中。現(xiàn)有的光刻工藝中,是采用簡(jiǎn)單目測(cè)的方式進(jìn)^f亍原始對(duì)中,在安放光刻 板的定位模中缺乏有效的對(duì)中機(jī)構(gòu),操作人員憑經(jīng)驗(yàn)估測(cè)晶圓片和光刻板的 圓心大致...
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