技術(shù)編號：2794235
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及曝光，特別是涉及一種曝光工藝和裝置。背景技術(shù)現(xiàn)有的利用曝光裝置對光刻膠曝光的工藝流程為首先將玻璃基板投入曝光流程中，將玻璃基板裝載在基板載臺上，進(jìn)行預(yù)對位，然后通過抽真空處理將玻璃基板吸附在基板載臺上，調(diào)整玻璃基板與掩膜版之間的間隙，并實現(xiàn)玻璃基板與掩膜版之間的精確對位，對位完成之后，利用紫外光對玻璃基板上的光刻膠曝光，然后解除玻璃基板與基板載臺之 間的真空，將玻璃基板從基板載臺上卸載?，F(xiàn)有的曝光工藝中，玻璃基板和掩膜版均水平設(shè)置，由于掩膜版自身...
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