技術(shù)編號(hào)：2855118
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種減少晶圓葡萄球狀缺陷的離子注入機(jī)，包括晶圓預(yù)裝載腔體、傳送腔體、制程腔體，所述晶圓預(yù)裝載腔體、傳送腔體、制程腔體三者依次互連，所述傳送腔體為長(zhǎng)方形腔體，在所述傳送腔體底部設(shè)有兩個(gè)機(jī)械手臂，在所述傳送腔體底部平滑板上設(shè)有金屬板，所述金屬板上設(shè)有多個(gè)通孔。在所述傳送腔的腔體底部除機(jī)械手臂外的平滑板上裝上帶有通孔的金屬板，在有害微粒移動(dòng)的過(guò)程中，有害微粒容易掉進(jìn)帶有通孔的金屬板的通孔中，而不至于滑動(dòng)到晶圓上，能有效降低離子注入機(jī)中有害微粒，減少葡萄...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。