技術(shù)編號：2926990
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是有關(guān)于離子植入，且更具體而言，本發(fā)明是關(guān)于在離子植入機(jī)中提供成段的靜電透鏡(segmented electrostatic lens)的4支術(shù)。 背景技術(shù)離子植入機(jī)(ion implanter)廣泛用于半導(dǎo)體制造中以選擇性地改變 材料的傳導(dǎo)性。在典型離子植入機(jī)中，經(jīng)由包括一或多個(gè)分析磁鐵 (analyzing magnet)以及多個(gè)電極的一系列光束線組件來引導(dǎo)自離子源所 產(chǎn)生的離子。分析磁鐵選擇所要離子種類、濾出污染物種類以及具有不正 確能量的離子...
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