技術(shù)編號：3263571
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于藍寶石加工，尤其涉及一種藍寶石切片后研磨的載具。背景技術(shù)藍寶石是加工藍光二極管的重要材料，在半導體領域具有舉足輕重的地位。在制作客戶需要的藍寶石片之前，要對藍寶石進行切片后研磨。現(xiàn)有技術(shù)中，對藍寶石切片后多采用雙面研磨工藝進行加工。加工時，通過研磨粉顆粒對藍寶石片進行研磨。藍寶石襯片的研磨是藍寶石基板制造中非常重要的一項工藝流程，它決定了藍寶石切片后晶片的總厚度變化，翹曲度，表面粗糙度等相關質(zhì)量。傳統(tǒng)的載具用于對各類非標件的研磨時候，造成成本高，...
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