專(zhuān)利名稱(chēng)：游星輪的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于藍(lán)寶石加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種藍(lán)寶石切片后研磨的載具。
背景技術(shù)：
藍(lán)寶石是加工藍(lán)光二極管的重要材料，在半導(dǎo)體領(lǐng)域具有舉足輕重的地位。在制作客戶需要的藍(lán)寶石片之前，要對(duì)藍(lán)寶石進(jìn)行切片后研磨?，F(xiàn)有技術(shù)中，對(duì)藍(lán)寶石切片后多采用雙面研磨工藝進(jìn)行加工。加工時(shí)，通過(guò)研磨粉顆粒對(duì)藍(lán)寶石片進(jìn)行研磨。藍(lán)寶石襯片的研磨是藍(lán)寶石基板制造中非常重要的一項(xiàng)工藝流程，它決定了藍(lán)寶石切片后晶片的總厚度變化，翹曲度，表面粗糙度等相關(guān)質(zhì)量。傳統(tǒng)的載具用于對(duì)各類(lèi)非標(biāo)件的研磨時(shí)候，造成成本高，研磨后缺陷多，且容易破片。

發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供一種良好研磨各類(lèi)非標(biāo)藍(lán)寶石切片的游星輪，大大降低了生產(chǎn)成本，有效保證了研磨后晶片的質(zhì)量。本發(fā)明解決上述問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是一種游星輪，所述游星輪由母輪與子輪組成，所述母輪外圓周上設(shè)有與研磨設(shè)備匹配的齒，其內(nèi)開(kāi)有與所述子輪外徑相匹配的孔；所述子輪內(nèi)開(kāi)有容納待加工工件的孔。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明游星輪，研磨作業(yè)時(shí)子輪在母輪內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)加工件自轉(zhuǎn)，使得研磨作業(yè)更均勻，研磨后晶片表面的TTV、Warp等指標(biāo)均能達(dá)到的要求，本發(fā)明游星輪，設(shè)計(jì)巧妙合理，解決了對(duì)各類(lèi)非標(biāo)件研磨時(shí)制作多個(gè)載具的問(wèn)題，大幅度降低研磨成本。


圖I是本發(fā)明游星輪的裝配示意圖；圖2是本發(fā)明母輪的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本發(fā)明子輪的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做出進(jìn)一步說(shuō)明。如圖所示，本發(fā)明一種游星輪，可適用于對(duì)各類(lèi)藍(lán)寶石非標(biāo)片研磨作業(yè)。該游星輪包括母輪I和子輪2兩部分。所述母輪I跟同研磨設(shè)備轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中帶動(dòng)子輪2進(jìn)行自轉(zhuǎn)及公轉(zhuǎn)。作為優(yōu)選，母輪I采用耐磨性好的藍(lán)鋼制作，子輪2則因?yàn)榧庸ぜN類(lèi)繁多，作為優(yōu)選，采用價(jià)格相對(duì)低廉的塑料纖維制作。研磨作業(yè)時(shí)候先將母輪I按要求放入到研磨設(shè)備內(nèi)，然后將子輪2放入到母輪I中，最后需加工的LED加工件3放入的子輪2內(nèi)。研磨過(guò)程中加工件3會(huì)隨著子輪2的自轉(zhuǎn)及公轉(zhuǎn)進(jìn)行相對(duì)應(yīng)的自轉(zhuǎn)及公轉(zhuǎn)，與研磨設(shè)備形成相對(duì)速度，從而達(dá)到對(duì)晶片的研磨作業(yè)。加工件3的自轉(zhuǎn)大大提高了研磨的質(zhì)量，從根本上解決了現(xiàn)有技術(shù)中研磨非標(biāo)片質(zhì)量不過(guò)關(guān)的問(wèn)題。以上實(shí)施例的描述較為具體、詳細(xì)，但并不能因此而理解為對(duì)本專(zhuān)利范圍的限制，應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種游星輪，其特征在于所述游星輪由母輪與子輪組成，所述母輪外圓周上設(shè)有與研磨設(shè)備匹配的齒，其內(nèi)開(kāi)有與所述子輪外徑相匹配的孔；所述子輪內(nèi)開(kāi)有容納待加工工件的孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的游星輪，其特征在于所述母輪材料為藍(lán)鋼。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的游星輪，其特征在于所述子輪材料為塑料纖維。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種游星輪，屬于藍(lán)寶石加工技術(shù)領(lǐng)域，所述游星輪由母輪與子輪組成，所述母輪外圓周上設(shè)有與研磨設(shè)備匹配的齒，其內(nèi)開(kāi)有與所述子輪外徑相匹配的孔；所述子輪內(nèi)開(kāi)有容納待加工工件的孔。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明游星輪，研磨作業(yè)時(shí)子輪在母輪內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)加工件自轉(zhuǎn)，使得研磨作業(yè)更均勻，研磨后晶片表面的TTV、Warp等指標(biāo)均能達(dá)到的要求，本發(fā)明游星輪，設(shè)計(jì)巧妙合理，解決了對(duì)各類(lèi)非標(biāo)件研磨時(shí)制作多個(gè)載具的問(wèn)題，大幅度降低研磨成本。
文檔編號(hào)B24B37/27GK102975114SQ20121051657
公開(kāi)日2013年3月20日 申請(qǐng)日期2012年12月6日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月6日
發(fā)明者戴磊, 王祿寶 申請(qǐng)人:江蘇吉星新材料有限公司