技術(shù)編號：3269257
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種用于拋光機(jī)的拋光臺面上，對拋光臺面進(jìn)行清洗、修整的清洗修整盤。技術(shù)背景在我們現(xiàn)有的技術(shù)中，用來對光學(xué)低通濾波器晶片進(jìn)行拋光處理的拋光機(jī)，采用的是將需要拋光的晶片擺放在拋光下模上，通過內(nèi)部電機(jī)帶動傳動軸轉(zhuǎn)動，從而帶動拋光下模呈行星運(yùn)行模式轉(zhuǎn)動，通過拋光上模對晶片進(jìn)行拋光處理，在完成拋光工序后，由于拋光機(jī)的長時間工作，很容易導(dǎo)致拋光上模和拋光下模的接觸面產(chǎn)生磨損，且由于長期拋光液的浸注也使拋光模具內(nèi)產(chǎn)生很多的雜質(zhì)，急需清洗，原有的清洗只是單純...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。