技術(shù)編號：3352060
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種太陽能光伏產(chǎn)業(yè)工藝設(shè)備，具體地說是用于平板爐PECVD (等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)中的配套裝置。 背景技術(shù)平板爐PECVD在實(shí)施工藝時，是把硅片放在硅片載片器的掛鉤上，再進(jìn)入 平板爐中的。太陽能光伏電池在加工過程中，有碎片和彩片的問題，原因之一 就是掛鉤造成的。如圖l、圖2所示，現(xiàn)有的掛鉤是用0.5~1毫米的板材，經(jīng)沖壓成型，表面 粗糙度較差，不容易達(dá)到工藝要求。掛鉤的鉤體2近似呈H字形，鉤體2的上 部內(nèi)側(cè)有兩個直角銳邊l，鉤體2的下部兩側(cè)有...
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