專(zhuān)利名稱(chēng)：Pecvd用硅片載片器的掛鉤的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)工藝設(shè)備，具體地說(shuō)是用于平板爐PECVD (等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)中的配套裝置。
背景技術(shù)：
平板爐PECVD在實(shí)施工藝時(shí)，是把硅片放在硅片載片器的掛鉤上，再進(jìn)入 平板爐中的。太陽(yáng)能光伏電池在加工過(guò)程中，有碎片和彩片的問(wèn)題，原因之一 就是掛鉤造成的。
如圖l、圖2所示，現(xiàn)有的掛鉤是用0.5~1毫米的板材，經(jīng)沖壓成型，表面 粗糙度較差，不容易達(dá)到工藝要求。掛鉤的鉤體2近似呈H字形，鉤體2的上 部?jī)?nèi)側(cè)有兩個(gè)直角銳邊l，鉤體2的下部?jī)蓚?cè)有向外上方彎曲的鉤尖3，鉤尖3 的頂部是一條直線4。使用該掛鉤，在放片、取片時(shí)，由于鉤體2的表面粗糙度 差以及直角銳邊1的存在，很容易把只有150 200微米厚的硅片刮出應(yīng)力或微 裂痕，在以后的熱加工過(guò)程中，應(yīng)力擴(kuò)大，微裂痕會(huì)變大，甚至導(dǎo)致硅片破碎， 產(chǎn)生碎片；另外，工藝要求掛鉤與硅片的接觸面積越小越好，這樣不容易產(chǎn)生 彩片，但由于鉤尖3的頂部是一條直線4，接觸面積較大，不能滿足工藝要求。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明針對(duì)上述問(wèn)題，提供一種PECVD用硅片載片器的掛鉤，該掛鉤可降 低碎片率，并且不易產(chǎn)生彩片。
按照本發(fā)明的技術(shù)方案 一種PECVD用硅片載片器的掛鉤，包括鉤體，其 特征是所述鉤體包括兩個(gè)向下延伸的支臂，鉤體的下部?jī)蓚?cè)為向外上方彎曲 的鉤尖，鉤體的腰部?jī)?nèi)側(cè)設(shè)置有向內(nèi)伸的頂尖。
所述鉤體的頂部設(shè)置有向下彎曲的折彎部。所述鉤體的材料為冷拉不銹鋼 絲。所述支臂的截面為圓形。所述鉤尖為圓錐體。所述頂尖為圓錐體。所述的 兩個(gè)支臂是對(duì)稱(chēng)設(shè)置的。
本發(fā)明的技術(shù)效果在于本發(fā)明鉤體的截面為圓形，表面很光，粗糙度小， 裝取片時(shí)，不容易對(duì)硅片造成影響，不易產(chǎn)生碎片；鉤尖為圓錐體，與硅片是
點(diǎn)接觸，不易產(chǎn)生彩片。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的掛鉤的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為圖1的俯視圖； 圖3為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖4為圖3的俯視圖5為本發(fā)明裝上墊片后的結(jié)構(gòu)示意圖6為圖5的俯視圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的說(shuō)明。
如圖3、圖4所示，所述掛鉤包括鉤體l，所述鉤體1包括兩個(gè)向下延伸的 支臂，鉤體1的下部?jī)蓚?cè)為向外上方彎曲的鉤尖3，鉤體1的腰部?jī)?nèi)側(cè)設(shè)置有向 內(nèi)伸的頂尖2。所述鉤體1的頂部設(shè)置有向下彎曲的折彎部4。所述鉤體1的材 料為冷拉不銹鋼絲。所述支臂的截面為圓形。所述鉤尖3為圓錐體。所述頂尖2 為圓錐體。
本發(fā)明包括鉤體1，鉤體1的材料為冷拉不銹鋼絲，鉤體1包括兩個(gè)向下延 伸的支臂，支臂的截面為圓形，表面很光，不會(huì)刮傷硅片。鉤體1由不銹鋼絲 彎曲成"幾"字形，其頂部設(shè)置有向下的彎曲的折彎部4。鉤體1的下部?jī)蓚?cè)為 向外上方彎曲的鉤尖3，鉤尖3為圓錐體，磨制成針尖狀。鉤體l的腰部?jī)?nèi)側(cè)設(shè) 置有向內(nèi)伸的頂尖2，頂尖2也為圓錐體，磨制成針尖狀。
如圖5、圖6所示，本發(fā)明使用時(shí)，腰部的頂尖2上裝配有墊片5，頂部的 彎曲的折彎部4下也墊有墊片。本發(fā)明裝配到硅片載片器上后，鉤尖3的圓錐 體頂部與硅片是點(diǎn)接觸，不易產(chǎn)生彩片。鉤體1的表面很光，不會(huì)刮傷硅片， 可降低碎片率0,2個(gè)百分點(diǎn)。
權(quán)利要求
1、一種PECVD用硅片載片器的掛鉤，包括鉤體(1)，其特征是所述鉤體(1)包括兩個(gè)向下延伸的支臂，鉤體(1)的下部?jī)蓚?cè)為向外上方彎曲的鉤尖(3)，鉤體(1)的腰部?jī)?nèi)側(cè)設(shè)置有向內(nèi)伸的頂尖(2)。
2、 按照權(quán)利要求1所述的PECVD用硅片載片器的掛鉤，其特征是所述 鉤體(1)的頂部設(shè)置有向下彎曲的折彎部(4)。
3、 按照權(quán)利要求1所述的PECVD用硅片載片器的掛鉤，其特征是所述鉤體(1)的材料為冷拉不銹鋼絲。
4、 按照權(quán)利要求1所述的PECVD用硅片載片器的掛鉤，其特征是所述支臂的截面為圓形。
5、 按照權(quán)利要求1所述的PECVD用硅片載片器的掛鉤，其特征是所述 鉤尖(3)為圓錐體。
6、 按照權(quán)利要求l所述的PECVD用硅片載片器的掛鉤，其特征是所述 頂尖(2)為圓錐體。
7、 按照權(quán)利要求l所述的PECVD用硅片載片器的掛鉤，其特征是所述 的兩個(gè)支臂是對(duì)稱(chēng)設(shè)置的。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種PECVD用硅片載片器的掛鉤，包括鉤體，所述鉤體包括兩個(gè)向下延伸的支臂，所述支臂的截面為圓形，鉤體的下部?jī)蓚?cè)為向外上方彎曲的鉤尖，鉤尖為圓錐體，鉤體的腰部?jī)?nèi)側(cè)設(shè)置有向內(nèi)伸的頂尖，頂尖也為圓錐體。本發(fā)明鉤體的截面為圓形，表面很光，粗糙度小，裝取片時(shí)，不容易對(duì)硅片造成影響，不易產(chǎn)生碎片；鉤尖為圓錐體，與硅片是點(diǎn)接觸，不易產(chǎn)生彩片。
文檔編號(hào)C23C16/50GK101634017SQ20091018376
公開(kāi)日2010年1月27日 申請(qǐng)日期2009年8月7日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月7日
發(fā)明者尤耀明 申請(qǐng)人:無(wú)錫綠波新能源設(shè)備有限公司