技術(shù)編號：3686665
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明的課題是提供使電絕緣性、耐熱性、耐溶劑性、干法回蝕特性同時實現(xiàn)的鈍化膜。作為解決本發(fā)明課題的手段涉及一種鈍化膜形成用組合物，其包含具有下述式(i)(式中，T0表示磺酰基、氟代亞烷基、環(huán)狀亞烷基、具有取代基的亞芳基、或可以具有取代基的亞芳基與氟代亞烷基或環(huán)狀亞烷基的組合。)的單元結(jié)構(gòu)的聚合物，在該聚合物的末端、側(cè)鏈、或主鏈具有至少一個具有式(2-A)、式(2-B)或這兩種結(jié)構(gòu)的基團。聚合物可以具有下述式(1)的單元結(jié)構(gòu)。AA式專利說明包含具有碳碳多重鍵...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。