技術(shù)編號:39343094
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于探針,具體涉及一種垂直探針制備方法。背景技術(shù)、在液晶面板、集成電路等電子部件模塊的制造工序中,往往需要進行導通檢測,這通常需要使用探針將電子部件模塊的pcb板與fpc(連接器)對應(yīng)連接,進而完成相應(yīng)的檢測工作。其中,多個探針集成形成探針卡,從而同時實現(xiàn)對多個測試點的測試。、目前,探針卡中探針數(shù)量越來越多且越來越密集,其中,垂直探針的厚度不超過um,最小線寬達到um,其垂直度及表面平整度直接影響其測試性能。然而,現(xiàn)有探針可以通過表面微加工(即mems加工技術(shù))制備得到,從而增...
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