技術(shù)編號(hào)：39979175
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本申請涉及太陽能電池，具體涉及一種蒸鍍源組件、蒸鍍裝置及蒸鍍方法。背景技術(shù)、蒸鍍是通過蒸發(fā)源使蒸鍍材料加熱到一定溫度發(fā)生蒸發(fā)或升華，從而使蒸鍍材料在基板表面沉積得到薄膜材料的方法。在鈣鈦礦電池的制備過程中，可以使用蒸鍍制備鈣鈦礦功能層，然而，在蒸鍍鈣鈦礦功能層時(shí)，涉及多元蒸鍍，現(xiàn)有蒸發(fā)源在進(jìn)行多元蒸鍍時(shí)存在一些問題，使得制備的鈣鈦礦功能層的均勻性較差。技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、為了解決上述問題，本申請實(shí)施例提供一種蒸鍍源組件、蒸鍍裝置及蒸鍍方法。、第一方面，本申請實(shí)施例提供一種蒸鍍源組件，包括：承載板...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。