本申請(qǐng)涉及太陽(yáng)能電池，具體涉及一種蒸鍍?cè)唇M件、蒸鍍裝置及蒸鍍方法。

背景技術(shù)：

1、蒸鍍是通過(guò)蒸發(fā)源使蒸鍍材料加熱到一定溫度發(fā)生蒸發(fā)或升華，從而使蒸鍍材料在基板表面沉積得到薄膜材料的方法。在鈣鈦礦電池的制備過(guò)程中，可以使用蒸鍍制備鈣鈦礦功能層，然而，在蒸鍍鈣鈦礦功能層時(shí)，涉及多元蒸鍍，現(xiàn)有蒸發(fā)源在進(jìn)行多元蒸鍍時(shí)存在一些問(wèn)題，使得制備的鈣鈦礦功能層的均勻性較差。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為了解決上述問(wèn)題，本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種蒸鍍?cè)唇M件、蒸鍍裝置及蒸鍍方法。

2、第一方面，本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種蒸鍍?cè)唇M件，包括：承載板，承載板包括第一表面；多個(gè)蒸鍍單元，每個(gè)蒸鍍單元包括多個(gè)間隔設(shè)置的固定點(diǎn)源，固定點(diǎn)源位于第一表面上，每個(gè)蒸鍍單元的多個(gè)固定點(diǎn)源的連線(xiàn)經(jīng)過(guò)第一表面的中心，至少兩個(gè)蒸鍍單元用于容納不同的蒸鍍材料；旋轉(zhuǎn)點(diǎn)源，旋轉(zhuǎn)點(diǎn)源的中心與第一表面的中心重合，旋轉(zhuǎn)點(diǎn)源包括多個(gè)分位，至少兩個(gè)分位用于容納不同的蒸鍍材料，分位容納的蒸鍍材料與蒸鍍單元容納的蒸鍍材料相同。

3、結(jié)合第一方面，第一表面上設(shè)置有第一坑位，第一坑位與旋轉(zhuǎn)點(diǎn)源的位置對(duì)應(yīng)；旋轉(zhuǎn)點(diǎn)源包括第一坩堝，第一坩堝放置在第一坑位內(nèi)；優(yōu)選地，第一坩堝劃分為多個(gè)分位；優(yōu)選地，每個(gè)分位的面積相等；優(yōu)選地，分位的數(shù)量小于或等于4；優(yōu)選地，分位的數(shù)量與蒸鍍單元的個(gè)數(shù)相同；優(yōu)選地，第一坑位的底部設(shè)置有旋轉(zhuǎn)裝置，旋轉(zhuǎn)裝置用于控制第一坩堝旋轉(zhuǎn)；優(yōu)選地，旋轉(zhuǎn)裝置包括轉(zhuǎn)軸、支撐板和驅(qū)動(dòng)件，轉(zhuǎn)軸的一端與支撐板固定連接，轉(zhuǎn)軸的另一端與驅(qū)動(dòng)件連接，支撐板用于放置第一坩堝；優(yōu)選地，承載板設(shè)置有第一加熱裝置，位于第一坑位的底部和周側(cè)，第一加熱裝置用于對(duì)第一坩堝進(jìn)行加熱。

4、結(jié)合第一方面，每個(gè)蒸鍍單元的多個(gè)固定點(diǎn)源呈直線(xiàn)排列；優(yōu)選地，第一表面上設(shè)置有多個(gè)第二坑位，第二坑位與固定點(diǎn)源的位置一一對(duì)應(yīng)；每個(gè)固定點(diǎn)源包括第二坩堝，第二坩堝分別放置在對(duì)應(yīng)的第二坑位內(nèi)；優(yōu)選地，每個(gè)蒸鍍單元的相鄰的固定點(diǎn)源之間的距離大于或等于5cm且小于或等于8cm；優(yōu)選地，承載板設(shè)置有第二加熱裝置，位于第二坑位的底部和周側(cè)，第二加熱裝置用于對(duì)第二坩堝進(jìn)行加熱；優(yōu)選地，第二加熱裝置獨(dú)立控制每個(gè)第二坩堝的加熱溫度。

5、結(jié)合第一方面，蒸發(fā)源組件還包括遮擋窗，遮擋窗安裝在第一表面上，遮擋窗用于遮擋部分旋轉(zhuǎn)點(diǎn)源，以露出部分旋轉(zhuǎn)點(diǎn)源；優(yōu)選地，旋轉(zhuǎn)點(diǎn)源露出于遮擋窗的面積大于或等于一個(gè)分位；優(yōu)選地，遮擋窗遮擋旋轉(zhuǎn)點(diǎn)源的面積可調(diào)。

6、結(jié)合第一方面，旋轉(zhuǎn)點(diǎn)源包括第一坩堝，第一坩堝劃分為多個(gè)分位；蒸發(fā)源組件還包括控制器，控制器用于控制第一坩堝旋轉(zhuǎn)；優(yōu)選地，控制器用于，當(dāng)一種蒸鍍材料蒸鍍完成且需要蒸鍍另一種蒸鍍材料時(shí)，控制第一坩堝旋轉(zhuǎn)，使得容納另一種蒸鍍材料的分位露出于遮擋窗；優(yōu)選地，蒸鍍材料包括鈣鈦礦原材料。

7、第二方面，本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種蒸鍍裝置，包括：上述的蒸鍍?cè)唇M件，蒸鍍?cè)唇M件包括承載板，承載板包括相對(duì)設(shè)置的第一表面和第二表面；第三加熱裝置，第三加熱裝置與第二表面接觸，以對(duì)承載板進(jìn)行加熱。

8、第三方面，本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種蒸鍍方法，包括：提供上述的蒸鍍裝置；在蒸鍍裝置的至少兩個(gè)蒸鍍單元內(nèi)放置不同的蒸鍍材料；在蒸鍍裝置的旋轉(zhuǎn)點(diǎn)源的至少兩個(gè)分位內(nèi)分別放置蒸鍍材料；將基板移入蒸鍍裝置內(nèi)，在基板的表面蒸鍍蒸鍍材料。

9、結(jié)合第三方面，至少兩種蒸鍍材料的蒸發(fā)溫度相近，在基板的表面蒸鍍蒸鍍材料的步驟中，包括：將放置蒸鍍材料的蒸鍍單元和旋轉(zhuǎn)點(diǎn)源分別加熱至蒸鍍材料的蒸發(fā)溫度；在基板的表面同時(shí)蒸鍍蒸鍍材料；優(yōu)選地，蒸鍍材料包括鈣鈦礦原材料，優(yōu)選地，鈣鈦礦原材料包括碘化鉛、碘化甲胺、碘化銫、碘化甲脒中的至少一種。

10、結(jié)合第三方面，蒸鍍材料包括第一蒸鍍材料和第二蒸鍍材料，在基板的表面蒸鍍蒸鍍材料，包括：利用遮擋窗遮擋部分旋轉(zhuǎn)點(diǎn)源，使得旋轉(zhuǎn)點(diǎn)源露出于遮擋窗的面積等于一個(gè)分位；旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)點(diǎn)源的第一坩堝，使得容納第一蒸鍍材料的分位露出于遮擋窗；將放置第一蒸鍍材料的蒸鍍單元和旋轉(zhuǎn)點(diǎn)源分別加熱至第一蒸鍍材料的蒸發(fā)溫度；在基板的表面蒸鍍第一蒸鍍材料；在蒸鍍完第一蒸鍍材料后，旋轉(zhuǎn)第一坩堝，使得容納第二蒸鍍材料的分位露出于遮擋窗；將放置第二蒸鍍材料的蒸鍍單元和旋轉(zhuǎn)點(diǎn)源分別加熱至第二蒸鍍材料的蒸發(fā)溫度；在基板的表面蒸鍍第二蒸鍍材料；優(yōu)選地，在基板的表面蒸鍍蒸鍍材料，包括：依次交替在基板的表面蒸鍍第一蒸鍍材料和第二蒸鍍材料；優(yōu)選地，第一蒸鍍材料和/或第二蒸鍍材料包括碘化鉛、碘化甲胺、碘化銫、碘化甲脒中的至少一種；優(yōu)選地，第一蒸鍍材料包括碘化鉛，第二蒸鍍材料包括碘化甲胺。

11、結(jié)合第二方面，在基板的表面蒸鍍蒸鍍材料的步驟之前，方法還包括：對(duì)蒸鍍裝置抽真空；優(yōu)選地，蒸鍍裝置內(nèi)的真空度為10-6～10-7mbar；優(yōu)選地，在基板的表面蒸鍍蒸鍍材料的步驟之前，方法還包括：將承載板加熱至特定溫度并進(jìn)行保溫，特定溫度小于蒸鍍材料的蒸發(fā)溫度。

12、通過(guò)上述技術(shù)方案，將多個(gè)蒸鍍單元設(shè)置在同一承載板上，適用于蒸鍍多種蒸鍍材料，可以提高蒸鍍均勻性；此外，每個(gè)蒸鍍單元包括多個(gè)固定點(diǎn)源，可以根據(jù)需求確定固定點(diǎn)源的數(shù)量，實(shí)現(xiàn)不同面積的蒸鍍。本方案尤其適用于鈣鈦礦電池的蒸鍍，在進(jìn)行鈣鈦礦材料的多元蒸鍍(例如，多元共蒸、多元順蒸)時(shí)，可以提升鈣鈦礦材料的蒸鍍均勻性；此外，可以根據(jù)需求確定固定點(diǎn)源的數(shù)量，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)大面積鈣鈦礦電池的蒸鍍。

技術(shù)特征：

1.一種蒸鍍?cè)唇M件，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍?cè)唇M件，其特征在于，所述第一表面上設(shè)置有第一坑位，所述第一坑位與所述旋轉(zhuǎn)點(diǎn)源的位置對(duì)應(yīng)；

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍?cè)唇M件，其特征在于，每個(gè)所述蒸鍍單元的多個(gè)所述固定點(diǎn)源呈直線(xiàn)排列；

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍?cè)唇M件，其特征在于，還包括遮擋窗，所述遮擋窗安裝在所述第一表面上，所述遮擋窗用于遮擋部分所述旋轉(zhuǎn)點(diǎn)源，以露出部分所述旋轉(zhuǎn)點(diǎn)源；

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的蒸鍍?cè)唇M件，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)點(diǎn)源包括第一坩堝，所述第一坩堝劃分為所述多個(gè)分位；

6.一種蒸鍍裝置，其特征在于，包括：

7.一種蒸鍍方法，其特征在于，包括：

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，至少兩種所述蒸鍍材料的蒸發(fā)溫度相近，所述在所述基板的表面蒸鍍所述蒸鍍材料的步驟中，包括：

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，所述蒸鍍材料包括第一蒸鍍材料和第二蒸鍍材料，所述在所述基板的表面蒸鍍所述蒸鍍材料，包括：

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，在所述基板的表面蒸鍍所述蒸鍍材料的步驟之前，所述方法還包括：對(duì)所述蒸鍍裝置抽真空；

技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N蒸鍍?cè)唇M件、蒸鍍裝置及蒸鍍方法，該蒸鍍?cè)唇M件包括：承載板，承載板包括第一表面；多個(gè)蒸鍍單元，每個(gè)蒸鍍單元包括多個(gè)間隔設(shè)置的固定點(diǎn)源，固定點(diǎn)源位于第一表面上，每個(gè)蒸鍍單元的多個(gè)固定點(diǎn)源的連線(xiàn)經(jīng)過(guò)第一表面的中心，至少兩個(gè)蒸鍍單元用于容納不同的蒸鍍材料；旋轉(zhuǎn)點(diǎn)源，旋轉(zhuǎn)點(diǎn)源的中心與第一表面的中心重合，旋轉(zhuǎn)點(diǎn)源包括多個(gè)分位，至少兩個(gè)分位用于容納不同的蒸鍍材料，分位容納的蒸鍍材料與蒸鍍單元容納的蒸鍍材料相同。本申請(qǐng)的技術(shù)方案可以提高蒸鍍材料的蒸鍍均勻性。

技術(shù)研發(fā)人員：高薇,董圣之,鄒德月,陳曉敏
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇匯顯顯示技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/11/14