技術(shù)編號(hào)：39979990
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及加速度傳感器。背景技術(shù)、在專利文獻(xiàn)中公開了靜電電容型mems加速度傳感器(以下稱為加速度傳感器)。加速度傳感器具有由固定電極和可動(dòng)電極構(gòu)成的電容器，檢測由于加速度作用時(shí)的可動(dòng)電極的位移而產(chǎn)生的電容器的靜電電容的變化。加速度基于檢測出的電容器的靜電電容的變化來計(jì)算。、作為加速度傳感器，已知有全差動(dòng)型加速度傳感器。全差動(dòng)型加速度傳感器具有兩個(gè)質(zhì)量塊，并且具有分別與它們連接的第一可動(dòng)電極和第二可動(dòng)電極、以及第一固定電極和第二固定電極，通過第一和第二可動(dòng)電極以及第一和第二固定電極的組合，...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。