本發(fā)明涉及加速度傳感器。

背景技術(shù)：

1、在專(zhuān)利文獻(xiàn)1中公開(kāi)了靜電電容型mems加速度傳感器(以下稱(chēng)為加速度傳感器)。加速度傳感器具有由固定電極和可動(dòng)電極構(gòu)成的電容器，檢測(cè)由于加速度作用時(shí)的可動(dòng)電極的位移而產(chǎn)生的電容器的靜電電容的變化。加速度基于檢測(cè)出的電容器的靜電電容的變化來(lái)計(jì)算。

2、作為加速度傳感器，已知有全差動(dòng)型加速度傳感器。全差動(dòng)型加速度傳感器具有兩個(gè)質(zhì)量塊，并且具有分別與它們連接的第一可動(dòng)電極和第二可動(dòng)電極、以及第一固定電極和第二固定電極，通過(guò)第一和第二可動(dòng)電極以及第一和第二固定電極的組合，構(gòu)成第一～第四電容器。

3、根據(jù)差動(dòng)型加速度傳感器，在加速度的作用時(shí)檢測(cè)兩個(gè)對(duì)稱(chēng)的輸出電壓。這兩個(gè)輸出電壓中可能包含共模噪聲和偏移(以下，統(tǒng)稱(chēng)為共模噪聲等)，但通過(guò)求出兩個(gè)輸出電壓之差，能夠得到抵消共模噪聲等的輸出，能夠基于該輸出高精度地計(jì)算加速度。

4、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

5、專(zhuān)利文獻(xiàn)

6、專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2019-49434號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題

2、在兩個(gè)質(zhì)量塊(proof?mass)中，可能分別獨(dú)立地產(chǎn)生包含尺寸和形狀等的偏差和/或者熱變形等畸變(以下，統(tǒng)稱(chēng)為偏差)的個(gè)體偏差。其結(jié)果是，在上述兩個(gè)輸出電壓中還能夠獨(dú)立地包含由上述個(gè)體偏差引起的噪聲(以下，稱(chēng)為個(gè)體噪聲)。其結(jié)果是，即使求出兩個(gè)輸出電壓之差，個(gè)體噪聲也不能相互抵消，因此有時(shí)不能高精度地計(jì)算出加速度。

3、本發(fā)明的課題在于提供一種能夠提高加速度的計(jì)算精度的加速度傳感器。

4、用于解決課題的技術(shù)方案

5、本發(fā)明的一個(gè)方式提供一種加速度傳感器，其包括：

6、具有第一主面和與上述第一主面相對(duì)的第二主面的基板；

7、從上述第一主面向上述第二主面?zhèn)劝枷莸陌疾浚?/p>

8、mems電極，其設(shè)置在上述凹部?jī)?nèi)，包括：具有第一固定電極和相對(duì)于該第一固定電極電絕緣的第二固定電極的固定電極；和具有第一可動(dòng)電極和相對(duì)于該第一可動(dòng)電極電絕緣的第二可動(dòng)電極的可動(dòng)電極；和

9、將上述第一可動(dòng)電極和上述第二可動(dòng)電極電絕緣且機(jī)械地連接的絕緣接頭。

10、根據(jù)本發(fā)明，第一可動(dòng)電極和第二可動(dòng)電極經(jīng)由絕緣接頭電絕緣并且機(jī)械地連接，因此能夠在一體地位移的1個(gè)質(zhì)量塊中包含電位不同的2個(gè)可動(dòng)電極。其結(jié)果是，因?yàn)樵诘谝豢蓜?dòng)電極和第二可動(dòng)電極中共同產(chǎn)生個(gè)體偏差，所以通過(guò)求出所得到的2個(gè)輸出電壓之差，不僅能夠除去共模噪聲等，還能夠得到由個(gè)體偏差引起的個(gè)體噪聲相互抵消的輸出。因此，能夠基于共模噪聲等和個(gè)體噪聲被抵消了的輸出，提高加速度的計(jì)算精度。

11、發(fā)明效果

12、根據(jù)本發(fā)明的加速度傳感器，能夠提高加速度的計(jì)算精度。

技術(shù)特征：

1.一種加速度傳感器，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加速度傳感器，其特征在于：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的加速度傳感器，其特征在于：

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的加速度傳感器，其特征在于：

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的加速度傳感器，其特征在于：

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的加速度傳感器，其特征在于：

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的加速度傳感器，其特征在于：

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的加速度傳感器，其特征在于：

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的加速度傳感器，其特征在于：

10.根據(jù)權(quán)利要求6～9中任一項(xiàng)所述的加速度傳感器，其特征在于：

11.根據(jù)權(quán)利要求3～10中任一項(xiàng)所述的加速度傳感器，其特征在于：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種加速度傳感器，其包括：具有第一主面和與第一主面相對(duì)的第二主面的器件側(cè)基板；從第一主面向第二主面?zhèn)劝枷莸陌疾?；?gòu)成差動(dòng)電路的MEMS電極，其設(shè)置在凹部?jī)?nèi)，包括：具有第一固定電極和相對(duì)于該第一固定電極電絕緣的第二固定電極的固定電極；和具有第一可動(dòng)電極和相對(duì)于該第一可動(dòng)電極電絕緣的第二可動(dòng)電極的可動(dòng)電極；和絕緣接頭，其將第一可動(dòng)電極和第二可動(dòng)電極電絕緣并且機(jī)械連接。

技術(shù)研發(fā)人員：M·W·黑勒,藤田有真
受保護(hù)的技術(shù)使用者：羅姆股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/11/14