技術(shù)編號(hào):39980117
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及含氟的氮化合物的保存方法,所述含氟的氮化合物含有亞硝酰氟(nof)和硝酰氟(fno)。背景技術(shù)、例如,專(zhuān)利文獻(xiàn)、等公開(kāi)的含氟的氮化合物有時(shí)被用作干蝕刻的蝕刻氣體。、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)、專(zhuān)利文獻(xiàn):日本專(zhuān)利公表公報(bào)年第號(hào)、專(zhuān)利文獻(xiàn):美國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)第/號(hào)說(shuō)明書(shū)技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、但是,由于亞硝酰氟和硝酰氟在特定種類(lèi)金屬的存在下如下述式那樣地反應(yīng),因此在長(zhǎng)時(shí)間的保存中含氟的氮化合物的純度恐怕會(huì)下降。、noffno→fnono...
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