本發(fā)明涉及含氟的氮化合物的保存方法，所述含氟的氮化合物含有亞硝酰氟(nof)和硝酰氟(fno2)。

背景技術(shù)：

1、例如，專利文獻(xiàn)1、2等公開的含氟的氮化合物有時(shí)被用作干蝕刻的蝕刻氣體。

2、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

3、專利文獻(xiàn)1：日本專利公表公報(bào)2021年第509538號(hào)

4、專利文獻(xiàn)2：美國專利申請(qǐng)公開第2020/0203127號(hào)說明書

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、但是，由于亞硝酰氟和硝酰氟在特定種類金屬的存在下如下述式那樣地反應(yīng)，因此在長時(shí)間的保存中含氟的氮化合物的純度恐怕會(huì)下降。

2、nof+2fno2→f3no+2no2

3、本發(fā)明的課題在于提供一種在保存中含氟的氮化合物的反應(yīng)不易進(jìn)行的含氟的氮化合物的保存方法。

4、為了解決前述課題，本發(fā)明的一方式如以下的[1]～[4]所述。

5、[1]一種含氟的氮化合物的保存方法，所述含氟的氮化合物含有亞硝酰氟和硝酰氟，

6、所述含氟的氮化合物作為金屬雜質(zhì)含有鈉、鉀、鎂和鈣中的至少一種、或者不含有鈉、鉀、鎂和鈣中的任一種，在所述含有的情況下，使鈉、鉀、鎂和鈣的濃度之和為1000質(zhì)量ppb以下地將所述含氟的氮化合物保存在容器內(nèi)。

7、[2]根據(jù)[1]所述的含氟的氮化合物的保存方法，所述含氟的氮化合物作為所述金屬雜質(zhì)進(jìn)一步含有錳、鈷、鎳和硅中的至少一種、或者不含有錳、鈷、鎳和硅中的任一種，在所述含有的情況下，使鈉、鉀、鎂和鈣、以及錳、鈷、鎳和硅的濃度的總和為2000質(zhì)量ppb以下地將所述含氟的氮化合物保存在容器內(nèi)。

8、[3]根據(jù)[1]或[2]所述的含氟的氮化合物的保存方法，在－20℃以上且50℃以下的溫度下進(jìn)行保存。

9、[4]根據(jù)[1]～[3]中任一項(xiàng)所述的含氟的氮化合物的保存方法，所述容器的材質(zhì)為錳鋼。

10、根據(jù)本發(fā)明，在保存中含氟的氮化合物的反應(yīng)不易進(jìn)行。

技術(shù)特征：

1.一種含氟的氮化合物的保存方法，所述含氟的氮化合物含有亞硝酰氟和硝酰氟，

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含氟的氮化合物的保存方法，

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的含氟的氮化合物的保存方法，在－20℃以上且50℃以下的溫度下進(jìn)行保存。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的含氟的氮化合物的保存方法，所述容器的材質(zhì)為錳鋼。

技術(shù)總結(jié)
提供一種在保存中含氟的氮化合物的反應(yīng)難以進(jìn)行的含氟的氮化合物的保存方法。含有亞硝酰氟和硝酰氟的含氟的氮化合物作為金屬雜質(zhì)含有或不含有鈉、鉀、鎂和鈣中的至少一種。使所述含有的情況下的鈉、鉀、鎂和鈣的濃度之和為1000質(zhì)量ppb以下地將該含氟的氮化合物保存在容器內(nèi)。

技術(shù)研發(fā)人員：巖崎淳平
受保護(hù)的技術(shù)使用者：株式會(huì)社力森諾科
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/11/14