技術(shù)編號:40238970
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本申請的實施例提供了電容器結(jié)構(gòu)及其形成方法。背景技術(shù)、金屬氧化物半導(dǎo)體(mos)電容器廣泛用于i/o信號噪聲減小。mos電容器包括用作底部電極的注入?yún)^(qū)域。注入?yún)^(qū)域可以包括高濃度的摻雜劑,以增強電容量。然而,高摻雜劑濃度可能使得mos電容器在熱工藝/處理之后具有泄漏路徑。因此,需要改進的mos電容器。技術(shù)實現(xiàn)思路、本申請的一些實施例提供了一種電容器結(jié)構(gòu),包括:第一阱區(qū)域;第一半導(dǎo)體層,設(shè)置在所述第一阱區(qū)域上方;第二半導(dǎo)體層,設(shè)置在所述第一半導(dǎo)體層上;介電層,設(shè)置在所述第二半導(dǎo)體層上,其中,所述...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。