技術(shù)編號(hào)：40374618
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及半導(dǎo)體襯底材料制造領(lǐng)域，特別是涉及一種晶片甩干托盤。背景技術(shù)、磷化銦襯底在制造高頻高功率器件、光纖通信、無線傳輸、射電天文學(xué)等射頻器件領(lǐng)域存在應(yīng)用市場(chǎng)。使用磷化銦襯底制造的射頻器件已在衛(wèi)星、雷達(dá)等應(yīng)用場(chǎng)景中表現(xiàn)出優(yōu)異的性能。在雷達(dá)和通信系統(tǒng)的射頻前端、模擬/混合信號(hào)寬帶寬電路方面具有較強(qiáng)競(jìng)爭(zhēng)力，適合高速數(shù)據(jù)處理、高精度寬帶寬a/d轉(zhuǎn)換等應(yīng)用。、然而，磷化銦晶片在拋光工序前研磨甩干是一步費(fèi)時(shí)費(fèi)力的工序，現(xiàn)有技術(shù)中，磷化銦研磨后是采用人工使用氣槍下料，再用手將研磨好的磷化銦晶片從研磨機(jī)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。