技術(shù)編號：40389431
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及晶圓加工，尤其涉及一種晶圓缺陷檢測用輔助夾持結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)、晶圓缺陷檢測用輔助夾持結(jié)構(gòu)是用于在半導(dǎo)體工業(yè)中進(jìn)行晶圓檢測時，為晶圓提供穩(wěn)定夾持和支撐的結(jié)構(gòu)，在半導(dǎo)體芯片制造過程中，晶圓經(jīng)常需要進(jìn)行各種檢測，如光學(xué)檢測、化學(xué)檢測和電學(xué)檢測等，為了確保檢測的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性，晶圓需要保持在一個穩(wěn)定的位置并且受到均勻的支撐。、目前，公開號為：cnu的中國實(shí)用新型，公開了一種全自動晶圓缺陷檢測裝置用固定夾持機(jī)構(gòu)，涉及晶圓缺陷檢測技術(shù)領(lǐng)域，為解決現(xiàn)有的晶圓缺陷檢測對晶圓的固定不...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。