技術(shù)編號(hào)：40407487
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及鈮酸鋰壓電涂層，特別涉及高純輕金屬摻雜linbo壓電涂層的制備方法。背景技術(shù)、工業(yè)領(lǐng)域常用的超聲波傳感器中，鈮酸鋰（linbo）是一種常用的制備壓電薄膜的涂層材料。目前一般選用磁控濺射技術(shù)，將鈮酸鋰制備成壓電涂層涂覆在襯底上。磁控濺射是指電子在電場(chǎng)作用下，在飛向襯底過程中與氬原子發(fā)生碰撞，使其電離產(chǎn)生出ar正離子和新的電子；在電場(chǎng)作用下，新電子飛向襯底，ar正離子飛向陰極靶并高能轟擊靶材表面，使靶材發(fā)生濺射。在濺射粒子中，中性的靶原子或分子沉積在襯底上形成薄膜。、然而，li元素...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。