技術(shù)編號：40818527
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于尾氣處理，具體涉及一種處理六氟化鎢合成尾氣的系統(tǒng)及方法。背景技術(shù)、六氟化鎢主要用作電子工業(yè)中金屬鎢化學(xué)氣相沉積(cvd)工藝的原材料,用它制成的wsi可用作大規(guī)模集成電路(lsi)中的配線材料,另外還可以作為半導(dǎo)體電極的原材料、氟化劑、聚合催化劑及光學(xué)材料的原料等。隨著世界電子工業(yè)的飛速發(fā)展,wf的需求量呈現(xiàn)穩(wěn)定快速增長的勢頭。、目前六氟化鎢合成主要是用三氟化氮或氟氣作為氟化劑與鎢反應(yīng)生成wf，中國專利cnb公開了六氟化鎢氣體的制備方法，該方法是將三氟化氮與...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。