技術(shù)編號(hào)：4754551
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種排氣系統(tǒng)。 背景技術(shù)考慮到半導(dǎo)體制造工藝中所使用的化學(xué)物質(zhì)種類(lèi)繁多，且多數(shù)是有毒、腐蝕性、易 燃性或易爆性等特質(zhì)，因此在半導(dǎo)體制造工廠內(nèi)配置有排氣系統(tǒng)。一般，為了避免不兼容的化學(xué)物質(zhì)使用相同的排氣管路而造成爆炸燃燒或排氣管 路材質(zhì)與輸送化學(xué)物質(zhì)間的不兼容性導(dǎo)致管路腐蝕破損進(jìn)而造成有害物質(zhì)外泄等危險(xiǎn)，原 則上是將整個(gè)工藝排氣系統(tǒng)根據(jù)氣體的特質(zhì)而劃分為多個(gè)排氣子系統(tǒng)。圖1顯示了現(xiàn)有技 術(shù)中的排氣系統(tǒng)的架構(gòu)示意圖，如圖1所示，整個(gè)排氣系統(tǒng)大致分為酸...
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