專利名稱:排氣系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種排氣系統(tǒng)。
背景技術(shù):
考慮到半導(dǎo)體制造工藝中所使用的化學(xué)物質(zhì)種類繁多,且多數(shù)是有毒、腐蝕性、易 燃性或易爆性等特質(zhì),因此在半導(dǎo)體制造工廠內(nèi)配置有排氣系統(tǒng)。一般,為了避免不兼容的化學(xué)物質(zhì)使用相同的排氣管路而造成爆炸燃燒或排氣管 路材質(zhì)與輸送化學(xué)物質(zhì)間的不兼容性導(dǎo)致管路腐蝕破損進(jìn)而造成有害物質(zhì)外泄等危險(xiǎn),原 則上是將整個(gè)工藝排氣系統(tǒng)根據(jù)氣體的特質(zhì)而劃分為多個(gè)排氣子系統(tǒng)。圖1顯示了現(xiàn)有技 術(shù)中的排氣系統(tǒng)的架構(gòu)示意圖,如圖1所示,整個(gè)排氣系統(tǒng)大致分為酸(Acid)排氣子系統(tǒng) 11、堿(Alkaline)排氣子系統(tǒng)12、揮發(fā)性有機(jī)類溶劑(Solvent或V0C)排氣子系統(tǒng)13和一 般排氣子系統(tǒng)14,其中的每一個(gè)排氣子系統(tǒng)均包括排氣壓力零點(diǎn)位基準(zhǔn)點(diǎn)、排氣壓力控制 點(diǎn)、風(fēng)管集管和排風(fēng)機(jī)等設(shè)備。具體來講,酸排氣子系統(tǒng)11包括壓力基準(zhǔn)點(diǎn)111、壓力控制 點(diǎn)112、風(fēng)管集管113和酸排風(fēng)機(jī)114 ;堿排氣子系統(tǒng)12包括壓力基準(zhǔn)點(diǎn)121、壓力控制點(diǎn) 122、風(fēng)管集管123和堿排風(fēng)機(jī)124 ;揮發(fā)性有機(jī)類溶劑排氣子系統(tǒng)13包括壓力基準(zhǔn)點(diǎn)131、 壓力控制點(diǎn)132、風(fēng)管集管133和有機(jī)排風(fēng)機(jī)134 ;—般排氣子系統(tǒng)14包括壓力基準(zhǔn)點(diǎn)141、 壓力控制點(diǎn)142、風(fēng)管集管143和一般排風(fēng)機(jī)144。所述每一個(gè)排氣子系統(tǒng)的工作原理大致 相同,包括所述排氣壓力控制點(diǎn)的壓力感測器用于實(shí)時(shí)感測待測氣體的壓力,并根據(jù)所述 排氣壓力零點(diǎn)位基準(zhǔn)點(diǎn)的零點(diǎn)位壓力,控制對應(yīng)的排氣子系統(tǒng)中的排風(fēng)機(jī)執(zhí)行相應(yīng)的運(yùn)作 (例如開始工作、加快或減慢運(yùn)轉(zhuǎn)速度、停止工作等)。由上可知,所述排氣壓力零點(diǎn)位基準(zhǔn)點(diǎn)是很重要的參考點(diǎn),零點(diǎn)位有輕微的波動(dòng) 都會(huì)使排氣壓力控制點(diǎn)的控制不穩(wěn)定,從而影響排風(fēng)機(jī)的運(yùn)作。現(xiàn)有排氣子系統(tǒng)的排氣壓 力零點(diǎn)位基準(zhǔn)點(diǎn)是單獨(dú)設(shè)置在室外,并配置有保護(hù)罩,以避免雨淋及風(fēng)吹,但實(shí)際不能徹底 解決外界環(huán)境條件對排氣壓力零點(diǎn)位基準(zhǔn)點(diǎn)的穩(wěn)定性影響,不可避免地會(huì)受到室外環(huán)境條 件的干擾影響,而引起零點(diǎn)位壓力波動(dòng),造成排氣壓力控制點(diǎn)的不穩(wěn)定,從而引起排氣系統(tǒng) 壓力波動(dòng),影響半導(dǎo)體制造的生產(chǎn)效率。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種排氣系統(tǒng),解決現(xiàn)有技術(shù)中的排氣壓力零點(diǎn)位基準(zhǔn)點(diǎn) 設(shè)置在室外易受外界環(huán)境條件影響而引起零點(diǎn)位壓力波動(dòng),造成排氣系統(tǒng)壓力不穩(wěn)定的問 題。為解決上述問題,本發(fā)明提供一種排氣系統(tǒng),包括至少一個(gè)排氣子系統(tǒng),所述排氣 子系統(tǒng)包括壓力基準(zhǔn)點(diǎn)、壓力控制點(diǎn)、排風(fēng)機(jī)和風(fēng)管集管,所述排氣子系統(tǒng)的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)設(shè)
置在室內(nèi)??蛇x地,在所述排氣系統(tǒng)包括多個(gè)排氣子系統(tǒng)時(shí),與所述多個(gè)排氣子系統(tǒng)對應(yīng)的 多個(gè)壓力基準(zhǔn)點(diǎn)合在一起設(shè)置在室內(nèi)。
可選地,所述多個(gè)排氣子系統(tǒng)的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)聯(lián)合在一起,構(gòu)成一個(gè)共用壓力基準(zhǔn)
點(diǎn)ο可選地,所述排氣系統(tǒng)包括酸排氣子系統(tǒng)、堿排氣子系統(tǒng)、揮發(fā)性有機(jī)類溶劑排氣 子系統(tǒng)和一般排氣子系統(tǒng)??蛇x地,所述排氣系統(tǒng)還包括設(shè)置于室內(nèi)的零點(diǎn)箱,所述一個(gè)或多個(gè)排氣子系統(tǒng) 的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)配置在所述零點(diǎn)箱內(nèi)??蛇x地,所述排氣系統(tǒng)還包括設(shè)置于室內(nèi)的中控室,所述一個(gè)或多個(gè)排氣子系統(tǒng) 的壓力控制點(diǎn)配置在所述中控室內(nèi)。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明提供的排氣系統(tǒng),將其中排氣子系統(tǒng)的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)設(shè)置 在室內(nèi),可避免受到外界環(huán)境條件的干擾,壓力基準(zhǔn)點(diǎn)的零點(diǎn)位壓力得以穩(wěn)定,確保排氣系 統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行。另外,本發(fā)明提供的排氣系統(tǒng),可以將對應(yīng)多個(gè)排氣子系統(tǒng)中的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)集中 在一起設(shè)置在室內(nèi),除可避免受到外界環(huán)境條件的干擾之外,還可以使得整個(gè)排氣系統(tǒng)的 多個(gè)排氣子系統(tǒng)共用一個(gè)壓力基準(zhǔn)點(diǎn)的零點(diǎn)位壓力,在確保零點(diǎn)位壓力穩(wěn)定和統(tǒng)一的同 時(shí),也利于管控。
圖1為現(xiàn)有技術(shù)中排氣系統(tǒng)的架構(gòu)示意圖;圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的排氣系統(tǒng)的架構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明的發(fā)明人發(fā)現(xiàn),現(xiàn)有的排氣系統(tǒng)中的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)設(shè)置都是在室外,存在壓 力基準(zhǔn)點(diǎn)易受外界環(huán)境條件影響而引起零點(diǎn)位壓力波動(dòng),造成排氣系統(tǒng)壓力不穩(wěn)定的問題。有鑒于此,本發(fā)明的發(fā)明人設(shè)計(jì)了一種排氣系統(tǒng),將其中的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)設(shè)置在可 以免受外界環(huán)境干擾的室內(nèi),確保排氣系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行。下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。請參閱圖2,其為本發(fā)明的排氣系統(tǒng)在一個(gè)實(shí)施例中的架構(gòu)示意圖。預(yù)先需說明的 是,所述排氣系統(tǒng)是應(yīng)用于半導(dǎo)體制造工廠中,用于將半導(dǎo)體器件制造過程中所產(chǎn)生的化 學(xué)物質(zhì)排出。所述化學(xué)物質(zhì)大多有毒、腐蝕性、易燃性或易爆性等特質(zhì),因此在工廠內(nèi)配置 排氣系統(tǒng)就顯得相當(dāng)重要。如圖2所示,所述排氣系統(tǒng)包括酸(Acid)排氣子系統(tǒng)21、堿(Alkaline)排氣子系 統(tǒng)22、揮發(fā)性有機(jī)類溶劑(Solvent或V0C)排氣子系統(tǒng)23和一般排氣子系統(tǒng)M。需說明 的是,在本實(shí)施例中,所述排氣系統(tǒng)大致分為上述四個(gè)排氣子系統(tǒng),但并不以此為限,在其 他實(shí)施例中,可以根據(jù)所需排出的化學(xué)物質(zhì)的特質(zhì),將整個(gè)排氣系統(tǒng)劃分為更多的排氣子 系統(tǒng),例如熱(Heat)排氣子系統(tǒng)、易爆性或易燃性氣體(Flammable或Combustible)排氣 子系統(tǒng)、氨(NH3)排氣子系統(tǒng)、氮氧化物(NOX)排氣子系統(tǒng)、臭氧(O3)排氣子系統(tǒng)等。在本實(shí)施例中,所述排氣系統(tǒng)包括四個(gè)排氣子系統(tǒng),其中的每一個(gè)排氣子系統(tǒng)都 包括壓力基準(zhǔn)點(diǎn)、壓力控制點(diǎn)、排風(fēng)機(jī)和風(fēng)管集管。所述壓力基準(zhǔn)點(diǎn)用于提供零點(diǎn)位壓力,所述壓力控制點(diǎn)用于控制所述排風(fēng)機(jī),所述風(fēng)管集管作為排氣通道連通工廠室內(nèi)和廢氣處 理裝置,所述排風(fēng)機(jī)則設(shè)置在所述風(fēng)管集管的至少一端。具體來講,酸排氣子系統(tǒng)21包括 壓力基準(zhǔn)點(diǎn)211、壓力控制點(diǎn)212、風(fēng)管集管213和酸排風(fēng)機(jī)214;堿排氣子系統(tǒng)22包括壓力 基準(zhǔn)點(diǎn)221、壓力控制點(diǎn)222、風(fēng)管集管223和堿排風(fēng)機(jī)224 ;揮發(fā)性有機(jī)類溶劑排氣子系統(tǒng) 23包括壓力基準(zhǔn)點(diǎn)231、壓力控制點(diǎn)232、風(fēng)管集管233和有機(jī)排風(fēng)機(jī)234 ;—般排氣子系統(tǒng) 24包括壓力基準(zhǔn)點(diǎn)Ml、壓力控制點(diǎn)M2、風(fēng)管集管243和一般排風(fēng)機(jī)M4。在實(shí)際應(yīng)用中, 對于其中的每一個(gè)排氣子系統(tǒng)來講,所述壓力控制點(diǎn)用于根據(jù)所述壓力基準(zhǔn)點(diǎn)提供的零點(diǎn) 位壓力來控制所述排氣子系統(tǒng)中的排風(fēng)機(jī)執(zhí)行相應(yīng)的運(yùn)作,例如可以通過所述排風(fēng)機(jī)的運(yùn) 轉(zhuǎn)將工廠內(nèi)的氣體經(jīng)由所述風(fēng)管集管排放出去。特別地,為避免受到外界環(huán)境條件的干擾,在本實(shí)施例中,每一個(gè)排氣子系統(tǒng)中的 壓力基準(zhǔn)點(diǎn)均被設(shè)置在室內(nèi)。具體地,酸排氣子系統(tǒng)21中的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)211、堿排氣子系統(tǒng) 22中的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)221、揮發(fā)性有機(jī)類溶劑排氣子系統(tǒng)23中的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)231和一般排氣 子系統(tǒng)M中的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)241通過傳輸線設(shè)置在室內(nèi)。為便于對所述多個(gè)壓力基準(zhǔn)點(diǎn)進(jìn)行集中管控,本實(shí)施例還提供了設(shè)置在室內(nèi)的零 點(diǎn)箱26。這樣,就可以將所述的酸排氣子系統(tǒng)21中的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)211、堿排氣子系統(tǒng)22中 的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)221、揮發(fā)性有機(jī)類溶劑排氣子系統(tǒng)23中的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)231和一般排氣子系 統(tǒng)M中的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)241集中設(shè)置在零點(diǎn)箱沈內(nèi)。更進(jìn)一步地,在酸排氣子系統(tǒng)21、堿 排氣子系統(tǒng)22、揮發(fā)性有機(jī)類溶劑排氣子系統(tǒng)23和一般排氣子系統(tǒng)M所采用的零點(diǎn)位壓 力相同或相近時(shí),所述對應(yīng)各個(gè)排氣子系統(tǒng)的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)211、221、231、241還可以相互聯(lián) 合在一起,構(gòu)成一個(gè)共用壓力基準(zhǔn)點(diǎn),以提供共用的一個(gè)零點(diǎn)位壓力給所述多個(gè)排氣子系 統(tǒng)。也就是說,所述排氣系統(tǒng)中的酸排氣子系統(tǒng)21、堿排氣子系統(tǒng)22、揮發(fā)性有機(jī)類溶劑排 氣子系統(tǒng)23和一般排氣子系統(tǒng)M能共用一個(gè)零點(diǎn)位壓力,確保用以作為所述多個(gè)排氣子 系統(tǒng)參考的零點(diǎn)位壓力保持一致性;同時(shí),由于多個(gè)排氣子系統(tǒng)共用一個(gè)零點(diǎn)位壓力基準(zhǔn) 點(diǎn),相比于現(xiàn)有技術(shù)的各個(gè)排氣子系統(tǒng)的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)分散設(shè)置且在出現(xiàn)波動(dòng)時(shí)需要分散控 制來說,管理和控制更容易,并且更利于各排氣子系統(tǒng)的壓力控制點(diǎn)的檢測。另外,在本實(shí)施例中,還提供了設(shè)置在室內(nèi)的中控室25,可以將所述的酸排氣子系 統(tǒng)21中的壓力控制點(diǎn)212、堿排氣子系統(tǒng)22中的壓力控制點(diǎn)222、揮發(fā)性有機(jī)類溶劑排氣 子系統(tǒng)23中的壓力控制點(diǎn)232和一般排氣子系統(tǒng)M中的壓力控制點(diǎn)242集中設(shè)置在中控 室25內(nèi)。這樣,透過中控室25就可以向所述的多個(gè)排氣子系統(tǒng)的壓力控制點(diǎn)發(fā)出控制指 令,以令相應(yīng)的排風(fēng)機(jī)執(zhí)行運(yùn)作,便于進(jìn)行集中管控。上述排氣系統(tǒng)在工作時(shí),透過中控室25向所述對應(yīng)排氣子系統(tǒng)的壓力控制點(diǎn)發(fā) 出控制指令,所述壓力控制點(diǎn)以設(shè)置在室內(nèi)的零點(diǎn)箱中的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)提供的零點(diǎn)位壓力為 基準(zhǔn),控制對應(yīng)的排氣子系統(tǒng)中的排風(fēng)機(jī)執(zhí)行相應(yīng)的運(yùn)作(例如開始工作、加快或減慢運(yùn) 轉(zhuǎn)速度、停止工作等),可以將工廠內(nèi)的氣體經(jīng)由所述風(fēng)管集管排放出去,實(shí)施有效的排氣 作業(yè),確保工廠內(nèi)氣體處于穩(wěn)定的狀態(tài)。本發(fā)明提供的排氣系統(tǒng),主要在于將各個(gè)排氣子系統(tǒng)的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)設(shè)置在室內(nèi), 可避免受到外界環(huán)境條件的干擾,能由所述壓力基準(zhǔn)點(diǎn)獲得穩(wěn)定的零點(diǎn)位壓力,確保排氣 系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行。以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式,應(yīng)當(dāng)指出,對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本發(fā)明原理的前提下,還可以做出若干改進(jìn)和潤飾,這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng) 視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種排氣系統(tǒng),包括至少一個(gè)排氣子系統(tǒng),所述排氣子系統(tǒng)包括壓力基準(zhǔn)點(diǎn)、壓力控 制點(diǎn)、排風(fēng)機(jī)和風(fēng)管集管,其特征在于,所述排氣子系統(tǒng)的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)設(shè)置在室內(nèi)。
2.如權(quán)利要求1所述的排氣系統(tǒng),其特征在于,在所述排氣系統(tǒng)包括多個(gè)排氣子系統(tǒng) 時(shí),所述多個(gè)排氣子系統(tǒng)的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)集中設(shè)置在室內(nèi)。
3.如權(quán)利要求2所述的排氣系統(tǒng),其特征在于,所述多個(gè)排氣子系統(tǒng)的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)聯(lián) 合在一起,構(gòu)成一個(gè)共用壓力基準(zhǔn)點(diǎn)。
4.如權(quán)利要求2所述的排氣系統(tǒng),其特征在于,所述排氣系統(tǒng)包括酸排氣子系統(tǒng)、堿排 氣子系統(tǒng)、揮發(fā)性有機(jī)類溶劑排氣子系統(tǒng)和一般排氣子系統(tǒng)。
5.如權(quán)利要求1、2或3所述的排氣系統(tǒng),其特征在于,還包括設(shè)置于室內(nèi)的零點(diǎn)箱,所 述一個(gè)或多個(gè)排氣子系統(tǒng)的壓力基準(zhǔn)點(diǎn)配置在所述零點(diǎn)箱內(nèi)。
6.如權(quán)利要求1、2或3所述的排氣系統(tǒng),其特征在于,還包括設(shè)置于室內(nèi)的中控室,所 述一個(gè)或多個(gè)排氣子系統(tǒng)的壓力控制點(diǎn)配置在所述中控室內(nèi)。
全文摘要
一種排氣系統(tǒng),所述排氣系統(tǒng)包括至少一個(gè)排氣子系統(tǒng),其中的排氣子系統(tǒng)包括壓力基準(zhǔn)點(diǎn)、壓力控制點(diǎn)、排風(fēng)機(jī)和風(fēng)管集管,所述壓力基準(zhǔn)點(diǎn)是設(shè)置在室內(nèi),以提供不受外界環(huán)境影響的零點(diǎn)位壓力信號(hào)。相較于現(xiàn)有技術(shù),本發(fā)明通過提供排氣系統(tǒng),將壓力基準(zhǔn)點(diǎn)設(shè)置在室內(nèi),可避免受到外界環(huán)境條件的干擾,壓力基準(zhǔn)點(diǎn)的零點(diǎn)位壓力得以穩(wěn)定,確保排氣系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行。
文檔編號(hào)F24F7/06GK102072544SQ20091024631
公開日2011年5月25日 申請日期2009年11月25日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月25日
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