技術(shù)編號：4940601
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明公開了，包括（1）將第一氯硅烷進行第一精餾提純得到第一塔頂蒸汽和第一塔底液；（2）將第一塔頂蒸汽進行第一冷凝處理，并將得到第一氯硅烷冷凝液返回至第一精餾塔內(nèi)；（3）將第一塔底液進行第一再沸處理并將得到第一再沸蒸汽回至第一精餾塔內(nèi)；（4）將第二氯硅烷進行第二精餾提純得到第二塔頂蒸汽和第二塔底液；（5）將第二塔頂蒸汽用于第一再沸處理并將得到第二氯硅烷冷凝液返回至第二精餾塔；（6）將第二塔底液進行第二再沸處理并將得到第二再沸蒸汽返回至第二精餾塔。采用本發(fā)明...
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