技術編號：5001378
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及一種用于太陽能擴散爐廢氣截流液化裝置。 背景技術擴散爐是集成電路生產(chǎn)線前工序的重要工藝設備之一，它的主要用途是對半導體進行摻雜，即在高溫條件下將摻雜材料擴散入硅片，從而改變和控制半導體內雜質的類型、 濃度和分布，以便建立起不同的電特性區(qū)域。擴散爐在工作過程中，經(jīng)高溫擴散產(chǎn)生的尾氣直接進入排氣管道，會產(chǎn)生較多的廢氣排放，不僅影響廠區(qū)空氣質量，還會造成一定的大氣污染。發(fā)明內容本實用新型的目的是提供一種使太陽能擴散爐中廢氣得以截流并液化的裝置。為了...
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