技術(shù)編號(hào)：5058225
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。循環(huán)水系統(tǒng)本發(fā)明涉及一種循環(huán)水系統(tǒng)，尤其是涉及一種排氣系統(tǒng)SCR過濾改進(jìn)工藝。背景技術(shù)半導(dǎo)體工藝排氣廢氣處理系統(tǒng)，是通過堿性或酸性循環(huán)水來處理廢氣的。廢氣處理系統(tǒng)洗滌器的循環(huán)水箱內(nèi)，會(huì)因廢氣吸入端管理不當(dāng)，帶入大的雜物，例如無塵布、凈化紙之類。同時(shí)洗滌塔內(nèi)的碎渣亦會(huì)混入到循環(huán)水內(nèi)。為解決上述問題，如圖1所示，現(xiàn)有的做法會(huì)在循環(huán)水箱出口端加兩道濾網(wǎng)第一濾網(wǎng)10、第二濾網(wǎng)11，在水泵吸入端加Y型過濾器12、13，來防止雜質(zhì)進(jìn)入循環(huán)水泵，防止水泵故障。然而，現(xiàn)有...
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