專利名稱：循環(huán)水系統(tǒng)的制作方法
循環(huán)水系統(tǒng)
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種循環(huán)水系統(tǒng)，尤其是涉及一種排氣系統(tǒng)SCR過濾改進(jìn)工藝。背景技術(shù)：
半導(dǎo)體工藝排氣廢氣處理系統(tǒng)，是通過堿性或酸性循環(huán)水來處理廢氣的。廢氣處理系統(tǒng)洗滌器的循環(huán)水箱內(nèi)，會(huì)因廢氣吸入端管理不當(dāng)，帶入大的雜物，例如無塵布、凈化紙之類。同時(shí)洗滌塔內(nèi)的碎渣亦會(huì)混入到循環(huán)水內(nèi)。為解決上述問題，如圖1所示，現(xiàn)有的做法會(huì)在循環(huán)水箱出口端加兩道濾網(wǎng)第一濾網(wǎng)10、第二濾網(wǎng)11，在水泵吸入端加Y型過濾器12、13，來防止雜質(zhì)進(jìn)入循環(huán)水泵，防止水泵故障。然而，現(xiàn)有的做法會(huì)有以下缺點(diǎn)1、當(dāng)清洗第一濾網(wǎng)10時(shí)，雜質(zhì)進(jìn)入第一濾網(wǎng)10和第二濾網(wǎng)11之間；2、當(dāng)清洗第二濾網(wǎng)11時(shí)，雜質(zhì)流入水泵吸入端；3、在水泵吸入端加Y型過濾器12、13，拆卸較為麻煩。

發(fā)明內(nèi)容針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明解決的技術(shù)問題是提供一種循環(huán)水系統(tǒng)，可有效的過濾固體雜質(zhì)。本發(fā)明的目的通過提供以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)一種循環(huán)水系統(tǒng)，包括一循環(huán)水箱，一設(shè)置于所述循環(huán)水箱出口的第一濾網(wǎng)(100)、第二濾網(wǎng)(101)，其中，所述循環(huán)水系統(tǒng)還包括一設(shè)置于所述第一濾網(wǎng)(100)和所述第二濾網(wǎng)(101)之間的第三濾網(wǎng)(103)。進(jìn)一步地，所述第三濾網(wǎng)(10 包括所述第三濾網(wǎng)(10 還設(shè)有一提手(1031)。所述循環(huán)水系統(tǒng)還包括至少一個(gè)連接所述循環(huán)水箱出口的循環(huán)水泵。所述循環(huán)水泵通過出水管和進(jìn)水管與所述循環(huán)水箱出口導(dǎo)通連接。再進(jìn)一步地，所述循環(huán)水系統(tǒng)還包括連接所述循環(huán)水箱的第一循環(huán)水泵和第二循環(huán)水泵。所述第一循環(huán)水泵通過第一出水管、第一進(jìn)水管與所述循環(huán)水箱出口導(dǎo)通連接；所述第二循環(huán)水泵通過第二出水管、第二進(jìn)水管與所述循環(huán)水箱出口導(dǎo)通連接。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是成本低、易清洗，過濾效率高，不會(huì)造成堵塞、水泵無流量的情況。

下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明圖1為現(xiàn)有循環(huán)水系統(tǒng)局部示意圖。圖2為本發(fā)明最佳實(shí)施方式循環(huán)水系統(tǒng)局部示意圖。圖3為圖2A-A部分剖面視圖。
具體實(shí)施方式以下參照

本發(fā)明的最佳實(shí)施方式。如圖2所示，本發(fā)明的循環(huán)水系統(tǒng)包括一循環(huán)水箱(圖中未示出)，一設(shè)置于所述循環(huán)水箱出口的第一濾網(wǎng)100、第二濾網(wǎng)101，以及設(shè)置于所述第一濾網(wǎng)100和所述第二濾網(wǎng)101之間的第三濾網(wǎng)103;所述循環(huán)水系統(tǒng)還包括至少一個(gè)連接所述循環(huán)水箱出口的循環(huán)水泵，在本發(fā)明最佳實(shí)施方式中，共設(shè)有兩個(gè)循環(huán)水泵105、107 第一循環(huán)水泵105通過第一出水管1051、第一進(jìn)水管1052與所述循環(huán)水箱出口導(dǎo)通連接；第二循環(huán)水泵107通過第二出水管1071、第二進(jìn)水管1072與所述循環(huán)水箱出口導(dǎo)通連接。如圖3所示，所述第三濾網(wǎng)103設(shè)置于所述第一濾網(wǎng)100和所述第二濾網(wǎng)101之間，所述第三濾網(wǎng)103還設(shè)有一提手1031，以方便所述第三濾網(wǎng)103從所述第一濾網(wǎng)100和所述第二濾網(wǎng)101中提出。所述第三濾網(wǎng)103過濾面積較大，可一次性過濾完全雜質(zhì)。通過上述的的循環(huán)水系統(tǒng)，是這樣實(shí)施過濾的1、通過第一濾網(wǎng)100和第二濾網(wǎng)101處理掉系統(tǒng)中的大量雜質(zhì)。第三濾網(wǎng)103的作用是去除第一濾網(wǎng)100和第二濾網(wǎng)101之間的雜物。2、在日常PM清洗濾網(wǎng)時(shí)，先將第一濾網(wǎng)100取出，清理干凈后將其放回。再將第三濾網(wǎng)103取出清洗，等第三濾網(wǎng)103放回后，最后清洗第二濾網(wǎng)101。盡管為示例目的，已經(jīng)公開了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，但是本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員將意識(shí)到，在不脫離由所附的權(quán)利要求書公開的本發(fā)明的范圍和精神的情況下，各種改進(jìn)、增加以及取代是可能的。
權(quán)利要求
1.一種循環(huán)水系統(tǒng)，包括一循環(huán)水箱，一設(shè)置于所述循環(huán)水箱出口的第一濾網(wǎng)、第二濾網(wǎng)，其特征在于所述循環(huán)水系統(tǒng)還包括一設(shè)置于所述第一濾網(wǎng)和所述第二濾網(wǎng)之間的第三濾網(wǎng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的循環(huán)水系統(tǒng)，其特征在于，所述第三濾網(wǎng)包括所述第三濾網(wǎng)還設(shè)有一提手。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的循環(huán)水系統(tǒng)，其特征在于，所述循環(huán)水系統(tǒng)還包括至少一個(gè)連接所述循環(huán)水箱出口的循環(huán)水泵。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的循環(huán)水系統(tǒng)，其特征在于，所述循環(huán)水泵通過出水管和進(jìn)水管與所述循環(huán)水箱出口導(dǎo)通連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的循環(huán)水系統(tǒng)，其特征在于，所述循環(huán)水系統(tǒng)還包括連接所述循環(huán)水箱的第一循環(huán)水泵和第二循環(huán)水泵。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的循環(huán)水系統(tǒng)，其特征在于，所述第一循環(huán)水泵通過第一出水管、第一進(jìn)水管與所述循環(huán)水箱出口導(dǎo)通連接；所述第二循環(huán)水泵通過第二出水管、第二進(jìn)水管與所述循環(huán)水箱出口導(dǎo)通連接。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種循環(huán)水系統(tǒng)，包括一循環(huán)水箱，一設(shè)置于所述循環(huán)水箱出口的第一濾網(wǎng)(100)、第二濾網(wǎng)(101)，其中，所述循環(huán)水系統(tǒng)還包括一設(shè)置于所述第一濾網(wǎng)(100)和所述第二濾網(wǎng)(101)之間的第三濾網(wǎng)(103)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是成本低、易清洗，過濾效率高，不會(huì)造成堵塞、水泵無流量的情況。
文檔編號(hào)B01D29/56GK102553315SQ20101060524
公開日2012年7月11日 申請(qǐng)日期2010年12月27日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月27日
發(fā)明者孫景艷, 游良呈 申請(qǐng)人:無錫華潤上華科技有限公司