技術(shù)編號：5264575
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于微電子機(jī)械系統(tǒng)，涉及微波功率檢測，為一種。背景技術(shù)現(xiàn)代通訊系統(tǒng)需要重量輕、體積小、功耗小和高集成度的電子器件。RF MEMS器件具有線性度佳、隔離度高、驅(qū)動功耗低、工作頻帶寬、截止頻率高等優(yōu)點(diǎn)，并且現(xiàn)在可以與傳統(tǒng)IC工藝相兼容，因此RF MEMS器件被寄予了很高的發(fā)展期望?，F(xiàn)階段主流的MEMS微波功率傳感器的工作原理分為兩種終端熱偶式和電容式，其中電容式的微波功率測量具有以下優(yōu)點(diǎn)基本上不損耗主信號線路上的功率、測量的反應(yīng)速度快。因此，對電容式ME...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。