技術(shù)編號(hào)：5435023
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及使真空室等成為真空的渦輪分子泵。背景技術(shù)在現(xiàn)有技術(shù)中，在制造例如IC制品等的情況下，在各作業(yè)室內(nèi)進(jìn)行各工序，如果在一個(gè)作業(yè)室內(nèi)完成一個(gè)工序，則將被作業(yè)物向下一個(gè)作業(yè)室搬送。在此，例如，有時(shí)候有必要在一個(gè)作業(yè)室中使該室內(nèi)成為真空(真空室)，此時(shí)，使用渦輪分子泵。作為這樣的渦輪分子泵，存在著例如如圖4所示的復(fù)合型渦輪分子泵。在同一圖中，在該外殼101形成有吸入口部102和排出口部103。在外殼101內(nèi)收納有轉(zhuǎn)子104，在該轉(zhuǎn)子104形成有向著外殼10...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。