專利名稱：渦輪分子泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及使真空室等成為真空的渦輪分子泵。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有技術(shù)中，在制造例如IC制品等的情況下，在各作業(yè)室內(nèi)進(jìn)行各工序，如果在一個(gè)作業(yè)室內(nèi)完成一個(gè)工序，則將被作業(yè)物向下一個(gè)作業(yè)室搬送。在此，例如，有時(shí)候有必要在一個(gè)作業(yè)室中使該室內(nèi)成為真空(真空室)，此時(shí)，使用渦輪分子泵。作為這樣的渦輪分子泵，存在著例如如圖4所示的復(fù)合型渦輪分子泵。在同一圖中，在該外殼101形成有吸入口部102和排出口部103。在外殼101內(nèi)收納有轉(zhuǎn)子104，在該轉(zhuǎn)子104形成有向著外殼101的內(nèi)周壁面延伸的轉(zhuǎn)子葉片105和圓筒狀的轉(zhuǎn)子筒部117。
而且，在定子側(cè)，相對(duì)于轉(zhuǎn)子葉片105，安裝有定子葉片106，相對(duì)于轉(zhuǎn)子筒部117，在轉(zhuǎn)子筒部117的外側(cè)安裝有定子螺紋槽115a，在轉(zhuǎn)子筒部117的內(nèi)側(cè)安裝有定子螺紋槽115b。這樣地使用螺紋槽來進(jìn)行排氣的機(jī)構(gòu)被稱為霍爾威克(Holweck)式。從吸入口部102吸入的氣體(gas)通過高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子葉片105和定子葉片106的相互作用而被壓縮，進(jìn)一步被轉(zhuǎn)子筒部117和定子螺紋槽115a、115b壓縮，從排出口部103排出。此外，為了將氣體引導(dǎo)至轉(zhuǎn)子筒部117的內(nèi)側(cè)的流路，在轉(zhuǎn)子筒部117沿旋轉(zhuǎn)軸的半徑方向伸出的部分設(shè)有開口 151。這樣，在現(xiàn)有示例中，通過使用轉(zhuǎn)子筒部117的內(nèi)側(cè)的霍爾威克部和外側(cè)的霍爾威克部來進(jìn)行排氣，從而提高排氣能力。作為這樣的類型的渦輪分子泵的具體示例，能夠列舉專利文獻(xiàn)I。另外，在轉(zhuǎn)子筒部117的內(nèi)側(cè)下部，形成有用于設(shè)置平衡器用的樹脂的槽161。將平衡器設(shè)置于內(nèi)側(cè)下部是因?yàn)橛捎谵D(zhuǎn)子104的重心位于上側(cè)，因而為了使平衡器的效果變大，將平衡器設(shè)置于離重心較遠(yuǎn)的地方。專利文獻(xiàn)I :日本實(shí)開平5-38389號(hào)公報(bào)。

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題
可是，由于轉(zhuǎn)子104以高速旋轉(zhuǎn)，因而必然產(chǎn)生過大的應(yīng)力。設(shè)有開口 151的沿半徑方向伸出的部分,一般而言寬度窄，設(shè)置充分的大小的開口在設(shè)計(jì)上困難。因此，開口 151無論如何也變小，同時(shí)難以設(shè)置緩和應(yīng)力的形狀，例如大的R。結(jié)果，存在著難以緩和應(yīng)力并同時(shí)將成為排氣對(duì)象的氣體引導(dǎo)至內(nèi)側(cè)的定子螺紋槽115b的問題。于是，本發(fā)明的目的是，提供一種提高排氣性能的渦輪分子泵。用于解決問題的技術(shù)方案權(quán)利要求I所記載的發(fā)明提供一種渦輪分子泵，該渦輪分子泵具備外殼；內(nèi)筒，配設(shè)于所述外殼的中心；轉(zhuǎn)子，被所述內(nèi)筒軸支，具有形成于吸氣口側(cè)的第I筒部、從所述第I筒部向著所述外殼的內(nèi)周形成的轉(zhuǎn)子葉片、形成于所述第I筒部的下端且外徑比所述第I筒部更大的第2筒部以及將所述第I筒部的下端和所述第2筒部的上端接合的臺(tái)階部；定子葉片，相對(duì)于所述外殼而固定，并與所述轉(zhuǎn)子葉片相對(duì)應(yīng)地形成;第I螺紋槽部，形成于所述第2筒部的外側(cè)和所述外殼的內(nèi)側(cè)之間；以及第2螺紋槽部，形成于所述第2筒部的內(nèi)側(cè)和所述內(nèi)筒之間，其中，在所述第I筒部和所述臺(tái)階部的接合部，設(shè)置開口于所述第I筒部和所述臺(tái)階部的兩方的開口部。權(quán)利要求2所記載的發(fā)明提供根據(jù)權(quán)利要求I所述的渦輪分子泵，其特征在于，所述開口部等間隔地設(shè)在所述第I筒部和所述臺(tái)階部的接合部的整周。權(quán)利要求3所記載的發(fā)明提供根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的渦輪分子泵，其特征在于，所述開口部的角部成為R形狀，所述第I筒部處的R形狀的半徑比所述臺(tái)階部處的R形狀的半徑更小。 權(quán)利要求4所記載的發(fā)明提供根據(jù)權(quán)利要求1、2、3所述的渦輪分子泵，其特征在于，在所述轉(zhuǎn)子的內(nèi)側(cè)的比所述第2螺紋槽部更靠近吸氣口側(cè)的部分，形成有質(zhì)量附加用的凹部。發(fā)明的效果
依照本發(fā)明，通過改善渦輪分子泵的排氣系統(tǒng)，從而能夠提高渦輪分子泵的能力。


圖I是用于說明本實(shí)施方式的渦輪分子泵的圖。圖2是用于說明開口部分的圖。圖3是用于說明開口部分和螺紋槽部分的圖。圖4是用于說明現(xiàn)有示例的圖。
具體實(shí)施例方式(I)實(shí)施方式的概要
渦輪分子泵(圖I)是將葉片部和螺紋槽部組合的復(fù)合型真空泵。而且，在保持轉(zhuǎn)子葉片5的轉(zhuǎn)子葉片保持部31和保持轉(zhuǎn)子筒部17的臺(tái)階部72的接合部，形成有遍及兩者的開Π 51。對(duì)葉片部進(jìn)行排氣后的氣體中的一部分，在由轉(zhuǎn)子筒部17和定子螺紋槽15a構(gòu)成的螺紋槽部(外側(cè)的霍爾威克部)被排出，剩余經(jīng)由開口 51而被引導(dǎo)至轉(zhuǎn)子筒部17的內(nèi)偵牝在由轉(zhuǎn)子筒部17和定子螺紋槽15b構(gòu)成的螺紋槽部(內(nèi)側(cè)的霍爾威克部)被排出。開口 51，在形成于轉(zhuǎn)子葉片保持部31和臺(tái)階部72的接合部的情況下，能夠承受轉(zhuǎn)子4的旋轉(zhuǎn)所導(dǎo)致的應(yīng)力。另外，通過將設(shè)置有平衡器用的重錘的槽61設(shè)置于比定子螺紋槽15b更靠近吸氣口側(cè)的間隙部分，從而沒有必要縮短定子螺紋槽15b的長(zhǎng)度。這樣，本實(shí)施方式所涉及的渦輪分子泵，在使用內(nèi)外的霍爾威克部的方面，能夠最大限度延長(zhǎng)定子螺紋槽15b的長(zhǎng)度，因而不擴(kuò)大渦輪分子泵的尺寸，就能夠提高壓縮性能。
(2)實(shí)施方式的詳細(xì)情況
圖I是用于說明本實(shí)施方式的渦輪分子泵的圖。外殼I整體成為大致圓筒狀，在該外殼I的上方，形成有與作為真空室的作業(yè)室的開口部(圖中未顯示)連接的吸入口部2(吸氣口)，在外殼I的下側(cè)的基座13，形成有排出口部3(排氣口)。沿外殼I內(nèi)的軸線方向收納轉(zhuǎn)子4。在轉(zhuǎn)子4的吸入口部2側(cè)，形成有筒狀的轉(zhuǎn)子葉片保持部31和從轉(zhuǎn)子葉片保持部31向著外殼I的內(nèi)壁面延伸的多個(gè)轉(zhuǎn)子葉片5，沿轉(zhuǎn)子4的軸線方向多級(jí)地形成多個(gè)該轉(zhuǎn)子葉片5。在外殼I的內(nèi)壁面，以與轉(zhuǎn)子葉片5相同的方式形成多個(gè)的定子葉片6配設(shè)成向著轉(zhuǎn)子4的半徑內(nèi)側(cè)延伸，與轉(zhuǎn)子葉片5交互地重疊。轉(zhuǎn)子葉片5的下側(cè)沿半徑方向伸出，圓筒狀的轉(zhuǎn)子筒部17從該伸出的部分的外周 形成至下側(cè)。因此，轉(zhuǎn)子筒部17的外徑設(shè)定為比轉(zhuǎn)子葉片保持部31的外徑更大。在轉(zhuǎn)子筒部17伸出的臺(tái)階部72，沿圓周方向隔開規(guī)定間隔而形成有多個(gè)開口 51。后面對(duì)該開口 51詳細(xì)地進(jìn)行說明。另外，在轉(zhuǎn)子筒部17的內(nèi)側(cè)上端部分，沿圓周方向形成有槽61，以作為用于設(shè)置樹脂制的平衡器的質(zhì)量附加槽。槽61形成于設(shè)在定子螺紋槽15b和轉(zhuǎn)子筒部17的內(nèi)側(cè)上端面之間的間隙部分，因而槽61不導(dǎo)致由定子螺紋槽15b形成的排氣路變短。這樣地，與現(xiàn)有技術(shù)相比，能夠?qū)⑵胶馄髟O(shè)在接近重心的部位是因?yàn)檗D(zhuǎn)子4的控制系的技術(shù)提聞。此外，也可以還在形成有更上方的轉(zhuǎn)子葉片5的筒部的內(nèi)側(cè)形成槽62。另外，也可以將槽61形成為凹部形狀。在此，凹部遍及圓周而形成的形狀是槽形狀。凹部形狀是包括槽形狀的概念。在轉(zhuǎn)子筒部17的外側(cè)，形成有定子側(cè)的定子螺紋槽15a，在內(nèi)側(cè)，形成有定子螺紋槽15b，形成霍爾威克部。被轉(zhuǎn)子葉片5和定子葉片6壓縮并到達(dá)轉(zhuǎn)子筒部17的氣體中的一部分，經(jīng)由轉(zhuǎn)子筒部17和定子螺紋槽15a之間的流路(外側(cè)的霍爾威克部)而排氣至排出口部3，剩余通過開口 51并經(jīng)由轉(zhuǎn)子筒部17和定子螺紋槽15b之間的流路(內(nèi)側(cè)的霍爾威克部)而排出至排出口部3。S卩，由2個(gè)路徑高效地排氣。在渦輪分子泵中，重要的是，將排氣路的長(zhǎng)度設(shè)定為盡可能地長(zhǎng)，但在本實(shí)施方式中，由于能夠在轉(zhuǎn)子筒部17的外側(cè)和內(nèi)側(cè)設(shè)定排氣路徑，因而相應(yīng)地，能夠使渦輪分子泵小型化。此外，在本實(shí)施方式中，以轉(zhuǎn)子側(cè)作為圓筒并在定子側(cè)形成螺紋槽，但也可以相反地在轉(zhuǎn)子側(cè)形成螺紋槽并以定子側(cè)作為圓筒。在這種情況下，在轉(zhuǎn)子筒部17的內(nèi)側(cè)和外側(cè)形成螺紋槽，以與定子螺紋槽15a相當(dāng)?shù)牟糠肿鳛閳A筒的內(nèi)周面，以與定子螺紋槽15b相當(dāng)?shù)牟糠肿鳛閳A筒的外周面。在轉(zhuǎn)子4的軸線部分，轉(zhuǎn)子軸8配設(shè)成與轉(zhuǎn)子4 一體地旋轉(zhuǎn)。在轉(zhuǎn)子4的內(nèi)側(cè)，設(shè)有電動(dòng)機(jī)9、半徑方向電磁鐵10以及軸方向電磁鐵11，其中，電動(dòng)機(jī)9以約20，000^90, 000 r. p. m的高速對(duì)轉(zhuǎn)子軸8進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，使轉(zhuǎn)子葉片5、轉(zhuǎn)子筒部17相對(duì)于定子葉片6、定子螺紋槽15a、15b而相對(duì)旋轉(zhuǎn)，半徑方向電磁鐵10使轉(zhuǎn)子軸8沿半徑方向磁上浮而無接觸地旋轉(zhuǎn)支撐轉(zhuǎn)子軸8,軸方向電磁鐵11經(jīng)由電樞盤(armaturedisk) 12使轉(zhuǎn)子軸8沿軸線方向磁上浮而無接觸地旋轉(zhuǎn)支撐轉(zhuǎn)子軸8。另外，在轉(zhuǎn)子4的上端部和下端部的各個(gè)，設(shè)有第I、第2保護(hù)軸承21、22，該第I、第2保護(hù)軸承21、22防止高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子軸8在未被電磁鐵10、11正常地旋轉(zhuǎn)支撐而倒下的情況下與內(nèi)筒7等直接碰觸，旋轉(zhuǎn)自如地支撐并保護(hù)轉(zhuǎn)子軸8。接著，說明本實(shí)施方式的渦輪分子泵的作用。在由渦輪分子泵使作業(yè)室(真空室)成為真空的情況下，首先，使電動(dòng)機(jī)9起動(dòng)，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子4，使轉(zhuǎn)子葉片5、轉(zhuǎn)子筒部17相對(duì)于靜止的定子葉片6、定子螺紋槽15a、15b而相對(duì)地高速旋轉(zhuǎn)。如果這樣地，轉(zhuǎn)子葉片5、轉(zhuǎn)子筒部17相對(duì)于定子葉片6、定子螺紋槽15a、15b而相對(duì)旋轉(zhuǎn)，那么，在作業(yè)室內(nèi)的氣體和水分等分子飛入吸入口部2的情況下，這些分子通過 轉(zhuǎn)子葉片、定子葉片組5、6，接著，氣體和水分等分子通過轉(zhuǎn)子筒部17和定子螺紋槽15a之間，與此同時(shí)，一部分的分子從開口 51流入轉(zhuǎn)子筒部17的內(nèi)側(cè)，通過轉(zhuǎn)子筒部17和定子螺紋槽15b之間。從此，進(jìn)一步地，分子通過排氣通路27而從排出口部3排出。此時(shí)，氣體和水分等分子，除了被定子螺紋槽15a壓縮以外，還被定子螺紋槽15b壓縮，因而流量變大。因此，能夠不使泵大型化，就增大氣體和水分等分子的流量而提高泵性能。而且，與現(xiàn)有的螺紋槽部相比，通過增大氣體能夠通過的開口面積，從而能夠進(jìn)行效率良好的氣體排出。圖2(a)是用于說明開口 51的圖。開口 51，在保持轉(zhuǎn)子葉片5(圖中未顯示)的筒狀的轉(zhuǎn)子葉片保持部31和從轉(zhuǎn)子葉片保持部31沿半徑方向伸出并在外周部分保持轉(zhuǎn)子筒部17的臺(tái)階部72沿轉(zhuǎn)子4的旋轉(zhuǎn)方向細(xì)長(zhǎng)地形成。另外，形成于轉(zhuǎn)子葉片保持部31處的角部的Rl和形成于臺(tái)階部72處的角部的R2，成為 Rl < R2。這樣的形狀的開口 51,通過利用Rl、R2的立統(tǒng)刀(end mill)從轉(zhuǎn)子4的內(nèi)側(cè)進(jìn)行切削加工而形成?？芍?，如果這樣地在轉(zhuǎn)子葉片保持部31和臺(tái)階部72的接合部形成開口 51，則承受轉(zhuǎn)子4的旋轉(zhuǎn)所導(dǎo)致的應(yīng)力。當(dāng)初也嘗試從外側(cè)開口，但如果從外側(cè)形成，那么，(開口 51)形狀遮蓋于轉(zhuǎn)子筒部17，相應(yīng)地，變得有效的定子螺紋槽15a變短，因而難以充分發(fā)揮性能，但通過從內(nèi)側(cè)開口，從而能夠形成適合于應(yīng)力而具有充分的開口面積的開口 51。 另外，可知，為了承受應(yīng)力，重要的是，使開口 51的角成為R形狀，尤其是，如果Rl< R2,則對(duì)抗應(yīng)力的效果增大。而且，如圖2(b)所示，開口 51的開口面積S成為轉(zhuǎn)子葉片保持部31側(cè)的開口面積SI和臺(tái)階部72側(cè)的開口面積S2的和，因而能夠?qū)㈤_口面積S設(shè)定得較大。圖3(a)顯示從上方觀看開口 51時(shí)的部位。
在該示例中，8個(gè)開口 51每隔45°而形成。開口 51的內(nèi)側(cè)的間隔也取決于渦輪分子泵的大小，在小型的渦輪分子泵的情況下，為2 4[mm]左右。圖3(b)是顯示定子螺紋槽15b的左半部分的圖。如果轉(zhuǎn)子筒部I7旋轉(zhuǎn)，則將氣體沿著定子螺紋槽15b的螺紋槽排氣。如以上那樣，本實(shí)施方式的渦輪分子泵能夠承受應(yīng)力，并且，能夠設(shè)置充分的大小的開口 51，以將氣體引導(dǎo)至內(nèi)側(cè)的霍爾威克部，因而能夠確保由外側(cè)和內(nèi)側(cè)的兩個(gè)霍爾威克部形成的兩個(gè)系統(tǒng)的流路。而且，通過利用由外側(cè)和內(nèi)側(cè)的霍爾威克部形成的兩個(gè)系統(tǒng)的平行流來進(jìn)行排氣，使得霍爾威克部的壓縮性能提高，能夠高效地壓縮和排出氣體。因此，大流量、高背壓下的吸入、壓縮、排出的效率提高，渦輪分子泵的性能提高。 另外,通過利用外側(cè)和內(nèi)側(cè)的兩個(gè)霍爾威克部,從而能夠依然以與利用一方的霍爾威克部的渦輪分子泵相同的尺寸提高性能。而且,通過在霍爾威克部的上側(cè)形成槽61,從而能夠較長(zhǎng)地有效利用霍爾威克部，能夠提高壓縮性能。通過以上說明的實(shí)施方式，從而能夠得到下面的構(gòu)成。外殼I和內(nèi)筒7分別作為外殼和配設(shè)于上述外殼的中心的內(nèi)筒而起作用。另外，轉(zhuǎn)子葉片保持部31作為形成于吸氣口側(cè)的第I筒部而起作用，轉(zhuǎn)子葉片5作為從上述第I筒部向著上述外殼的內(nèi)周面形成的轉(zhuǎn)子葉片而起作用，轉(zhuǎn)子筒部17作為形成于上述第I筒部的下端且外徑比上述第I筒部更大的第2筒部而起作用，臺(tái)階部72作為將上述第I筒部的下端和上述第2筒部的上端接合的臺(tái)階部而起作用。而且，由于轉(zhuǎn)子4具備這些部件，被內(nèi)筒7軸支，因而作為被上述內(nèi)筒軸支的轉(zhuǎn)子而起作用。另外，定子葉片6作為相對(duì)于上述外殼而固定并與上述轉(zhuǎn)子葉片相對(duì)應(yīng)地形成的定子葉片而起作用。而且，由轉(zhuǎn)子筒部17和定子螺紋槽15a形成的流路，即外側(cè)的霍爾威克部，作為形成于上述第2筒部的外側(cè)和上述外殼的內(nèi)側(cè)之間的第I螺紋槽部而起作用，由轉(zhuǎn)子筒部17和定子螺紋槽15b形成的流路，即內(nèi)側(cè)的霍爾威克部，作為形成于上述第2筒部的內(nèi)側(cè)和上述內(nèi)筒之間的第2螺紋槽部而起作用。而且，由于開口 51形成于轉(zhuǎn)子葉片保持部31和臺(tái)階部72的接合部分，SI的面積開口于轉(zhuǎn)子葉片保持部31，S2的面積開口于臺(tái)階部72，因而在上述第I筒部和上述臺(tái)階部的接合部，設(shè)有開口于上述第I筒部和上述臺(tái)階部的兩方的開口部。如圖3(a)所示，等間隔地設(shè)有多個(gè)開口 51，因而上述開口部等間隔地設(shè)在上述第I筒部和上述臺(tái)階部的接合部的整周。再者，如圖2 (a)所示，Rl < R2，因而上述開口部的角部成為R形狀，上述第I筒部處的R形狀的半徑比上述臺(tái)階部處的R形狀的半徑更小。另外，槽61形成于比定子螺紋槽15b更靠近吸入口部2側(cè)的部分，因而在上述轉(zhuǎn)子的內(nèi)側(cè)的比上述第2螺紋槽部更靠近吸氣口側(cè)的部分，形成有質(zhì)量附加用的凹部。另外，著眼于槽61，還能夠提供一種渦輪分子泵，該渦輪分子泵具備外殼；內(nèi)筒，配設(shè)于上述外殼的中心；轉(zhuǎn)子，被上述內(nèi)筒軸支，具有形成于吸氣口側(cè)的第I筒部、從上述第I筒部向著上述外殼的內(nèi)周面形成的轉(zhuǎn)子葉片、形成于上述第I筒部的下端且外徑比上述第I筒部更大的第2筒部以及將上述第I筒部的下端和上述第2筒部的上端接合的臺(tái)階部；定子葉片，相對(duì)于上述外殼而固定，并與上述轉(zhuǎn)子葉片相對(duì)應(yīng)地形成；第I螺紋槽部，形成于上述第2筒部的外側(cè)和上述外殼的內(nèi)側(cè)之間；以及第2螺紋槽部，形成于上述第2筒部的內(nèi)側(cè)和上述內(nèi)筒之間，其中，在上述轉(zhuǎn)子的上述第I螺紋槽部和上述第2螺紋槽部的吸氣口側(cè)，設(shè)有將上述第I螺紋槽部和上述第2螺紋槽部連通的開口，在上述轉(zhuǎn)子的內(nèi)側(cè)的比上述第2螺紋槽部更靠近吸氣口側(cè)的部分，形成有質(zhì)量附加用的凹部。 符號(hào)說明
1夕卜殼
2吸入口部
3排出口部
4轉(zhuǎn)子
5轉(zhuǎn)子葉片
6定子葉片
7內(nèi)筒
8轉(zhuǎn)子軸
9電動(dòng)機(jī)
10電磁鐵
11電磁鐵
12電樞盤
13基座
15 定子螺紋槽 17 轉(zhuǎn)子筒部
21第I保護(hù)軸承
22第2保護(hù)軸承 27 排氣通路
31 轉(zhuǎn)子葉片保持部 51 開口 61 槽 72 臺(tái)階部
101外殼
102吸入口部
103排出口部
104轉(zhuǎn)子
105轉(zhuǎn)子葉片
106定子葉片 115 定子螺紋槽 117 轉(zhuǎn)子筒部 151 開口161 槽
權(quán)利要求
1.一種渦輪分子泵，具備 外殼; 內(nèi)筒，配設(shè)于所述外殼的中心； 轉(zhuǎn)子，被所述內(nèi)筒軸支，具有形成于吸氣ロ側(cè)的第I筒部、從所述第I筒部向著所述外殼的內(nèi)周面而形成的轉(zhuǎn)子葉片、形成于所述第I筒部的下端且外徑比所述第I筒部更大的第2筒部、以及將所述第I筒部的下端和所述第2筒部的上端接合的臺(tái)階部； 定子葉片，相對(duì)于所述外殼而固定，并與所述轉(zhuǎn)子葉片相對(duì)應(yīng)地形成； 第I螺紋槽部，形成于所述第2筒部的外側(cè)和所述外殼的內(nèi)側(cè)之間；以及 第2螺紋槽部，形成于所述第2筒部的內(nèi)側(cè)和所述內(nèi)筒之間； 其特征在于，在所述第I筒部和所述臺(tái)階部的接合部，設(shè)置開ロ于所述第I筒部和所述臺(tái)階部的兩方的開ロ部。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的渦輪分子泵，其特征在于，所述開ロ部等間隔地設(shè)置在所述第I筒部和所述臺(tái)階部的接合部的整周。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的渦輪分子泵，其特征在于，所述開ロ部的角部成為R形狀，所述第I筒部處的R形狀的半徑比所述臺(tái)階部處的R形狀的半徑更小。
4.根據(jù)權(quán)利要求1、2、3所述的渦輪分子泵，其特征在于，在所述轉(zhuǎn)子的內(nèi)側(cè)的比所述第2螺紋槽部更靠近吸氣ロ側(cè)的部分，形成有質(zhì)量附加用的凹部。
全文摘要
本發(fā)明以提高渦輪分子泵的能力作為目的。渦輪分子泵是將葉片部和螺紋槽部組合的真空泵。而且，在保持轉(zhuǎn)子葉片(5)的轉(zhuǎn)子葉片保持部(31)和保持轉(zhuǎn)子筒部(17)的臺(tái)階部(72)的接合部，形成有遍及兩者的開口(51)。對(duì)葉片部進(jìn)行排氣后的氣體中的一部分，在由轉(zhuǎn)子筒部(17)和定子螺紋槽(15a)構(gòu)成的螺紋槽部被排出，剩余經(jīng)由開口(51)而被引導(dǎo)至轉(zhuǎn)子筒部(17)的內(nèi)側(cè)，在由轉(zhuǎn)子筒部(17)和定子螺紋槽(15b)構(gòu)成的螺紋槽部被排出。開口(51)，在形成于轉(zhuǎn)子葉片保持部(31)和臺(tái)階部(72)的接合部的情況下，能夠承受轉(zhuǎn)子(4)的旋轉(zhuǎn)所導(dǎo)致的應(yīng)力。另外，通過將設(shè)置有平衡器用的重錘的槽(61)設(shè)置于比定子螺紋槽(15b)更靠近吸氣口側(cè)的間隙部分，從而沒有必要縮短定子螺紋槽(15b)的長(zhǎng)度。
文檔編號(hào)F04D19/04GK102762870SQ201180011499
公開日2012年10月31日 申請(qǐng)日期2011年7月20日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月6日
發(fā)明者三輪田透, 和田昭彥, 坂口祐幸 申請(qǐng)人:埃地沃茲日本有限公司