技術(shù)編號(hào)：5682786
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種移動(dòng)墊鐵，特別涉及一種可調(diào)整高度并且具有自鎖及防 振功能的可調(diào)移動(dòng)墊塊。背景技術(shù)目前，在光刻機(jī)整機(jī)集成過程中，大多數(shù)設(shè)備都需要可調(diào)移動(dòng)墊鐵，將其移 動(dòng)和提升到安裝位置，實(shí)現(xiàn)機(jī)械接口的連接?？烧{(diào)移動(dòng)墊鐵就是一個(gè)移動(dòng)和提 升部件。因而在設(shè)備的安裝時(shí)常常會(huì)使用調(diào)整墊鐵,但是傳統(tǒng)的調(diào)整墊鐵不能夠隨時(shí) 整個(gè)移動(dòng)，從而無法水平移動(dòng)待安裝的設(shè)備。另夕卜，在狹小空間內(nèi)移動(dòng)和安裝精密設(shè)備時(shí)，被移動(dòng)和提升的設(shè)備本身體積 就較大，而且在設(shè)備周圍有許多已經(jīng)安裝好...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。