專利名稱：可調(diào)移動(dòng)墊鐵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種移動(dòng)墊鐵，特別涉及一種可調(diào)整高度并且具有自鎖及防 振功能的可調(diào)移動(dòng)墊塊。
背景技術(shù)：
目前，在光刻機(jī)整機(jī)集成過程中，大多數(shù)設(shè)備都需要可調(diào)移動(dòng)墊鐵，將其移 動(dòng)和提升到安裝位置，實(shí)現(xiàn)機(jī)械接口的連接?？烧{(diào)移動(dòng)墊鐵就是一個(gè)移動(dòng)和提 升部件。
因而在設(shè)備的安裝時(shí)常常會(huì)使用調(diào)整墊鐵,但是傳統(tǒng)的調(diào)整墊鐵不能夠隨時(shí) 整個(gè)移動(dòng)，從而無法水平移動(dòng)待安裝的設(shè)備。
另夕卜，在狹小空間內(nèi)移動(dòng)和安裝精密設(shè)備時(shí)，被移動(dòng)和提升的設(shè)備本身體積 就較大，而且在設(shè)備周圍有許多已經(jīng)安裝好的精密部件，因而造成安裝空間有 限。而傳統(tǒng)的調(diào)整墊鐵不具備減振和自鎖功能，因而無法保證設(shè)備在安裝時(shí)穩(wěn) 定不動(dòng)，也無法保證設(shè)備在晃動(dòng)中不與其他精密部件相碰撞，不能滿足安裝要 求。
因此，需要提供一種可調(diào)移動(dòng)墊鐵，來實(shí)現(xiàn)狹小空間設(shè)備安裝的要求。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種可調(diào)移動(dòng)墊鐵，以水平移動(dòng)待安 裝設(shè)備，并且在移動(dòng)和提升設(shè)備時(shí)，特別是在狹小空間移動(dòng)和提升設(shè)備時(shí)，保 證設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行，在安裝設(shè)備時(shí)保證設(shè)備穩(wěn)定不動(dòng)。
為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的 一可調(diào)移動(dòng)墊鐵，包 括一具有下斜面的上塊， 一具有上斜面的下塊，該上斜面與該下斜面可相對(duì)滑
動(dòng)，及一螺桿，該螺桿的一端安裝在該下塊的一側(cè)，其進(jìn)一步包括 數(shù)個(gè)壓入型鋼珠滾輪，其安裝在該下塊的下方；其中該螺桿的 一端安裝有一六角法蘭螺母，并且該螺桿的另 一端沿軸向延 伸入該上塊的內(nèi)部。
上述的可調(diào)移動(dòng)墊鐵，其進(jìn)一步包括 一安裝在該上塊上方的墊片。
上述的可調(diào)移動(dòng)墊鐵，其進(jìn)一步包括該下塊的上方部位沿軸向具有一導(dǎo) 軌槽，該上塊通過該螺桿安裝在該下塊的導(dǎo)軌槽中。
上述的可調(diào)移動(dòng)墊鐵，其進(jìn)一步包括該墊片為有機(jī)材料并且可使用強(qiáng)力 膠水安裝在該上塊的上方。
上述的可調(diào)移動(dòng)墊鐵，其進(jìn)一步包括該下塊的底面與該上塊的頂面均水 平設(shè)置并且保持平行。
上述的可調(diào)移動(dòng)墊鐵，其進(jìn)一步包括上述上斜面與下斜面均為傾斜角度 大于自鎖角度的斜面。
上述的可調(diào)移動(dòng)墊鐵，其進(jìn)一步包括該壓入型鋼珠滾輪的數(shù)量為4個(gè)。
上述的可調(diào)移動(dòng)墊鐵，其進(jìn)一步包括上述數(shù)個(gè)壓入型鋼珠滾輪，其經(jīng)由 過盈配合的方式安裝在該下塊的下方。
本實(shí)用新型由于采用了上述的技術(shù)方案，使之與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下 的優(yōu)點(diǎn)和積極效果
1、 當(dāng)該上塊與下塊自鎖后，經(jīng)由數(shù)個(gè)壓入型鋼珠滾輪的滾動(dòng)，可水平移動(dòng) 待安裝設(shè)備；
2、 在移動(dòng)和提升設(shè)備時(shí)，特別是在狹小空間移動(dòng)和提升設(shè)備時(shí)，保證設(shè)備 穩(wěn)定運(yùn)行，在安裝設(shè)備時(shí)保證設(shè)備穩(wěn)定不動(dòng)；
3、 整個(gè)裝置結(jié)構(gòu)緊湊，移動(dòng)方便，調(diào)整靈活。
本實(shí)用新型的可調(diào)移動(dòng)墊鐵由以下的實(shí)施例及附圖給出。
圖1為本實(shí)用新型的可調(diào)移動(dòng)墊鐵主視圖2為本實(shí)用新型的可調(diào)移動(dòng)墊鐵的俯視圖3為本實(shí)用新型的可調(diào)移動(dòng)墊鐵的右視圖4為本實(shí)用新型的可調(diào)移動(dòng)墊鐵的上塊移動(dòng)到最低點(diǎn)的示意圖。
具體實(shí)施方式
以下將對(duì)本實(shí)用新型的可調(diào)移動(dòng)墊鐵作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。
如圖1至圖3所示，該可調(diào)移動(dòng)墊鐵10包括下塊1,上塊2，墊片3,六角 薄螺母4，六角法蘭螺母5，螺桿6及數(shù)個(gè)壓入型鋼珠滾輪7。該下塊l的上方 中央部位沿軸向具有一導(dǎo)軌槽011，該螺桿6的一端依次安裝有六角法蘭螺母5 及該六角薄螺母4，并且該螺桿6安裝在該下塊1的一側(cè)。該螺桿6的另 一端沿 軸向延伸入該上塊2的內(nèi)部，因而該上塊2通過該螺桿6安裝在該下塊1的該 導(dǎo)軌槽011中。該下塊1的底面與該上塊2的頂面均水平設(shè)置并且保持平行。 該下塊1的一上斜面012與該上塊2的一下斜面022均為傾斜角度大于自鎖角 度的斜面，該上斜面012與該下斜面022能經(jīng)由該螺桿6的轉(zhuǎn)動(dòng)而相對(duì)運(yùn)動(dòng)。 該墊片3為有機(jī)材料并且可使用強(qiáng)力膠水安裝在該上塊2的上方，以起到設(shè)備 的減振作用。該壓入型鋼珠滾輪7的表面071是球面，經(jīng)由過盈配合的方式安 裝在該下塊l的下方，在本實(shí)用新型中，該壓入型鋼珠滾輪7的數(shù)量為4個(gè)。
在安裝設(shè)備的過程中，該可調(diào)移動(dòng)墊鐵IO運(yùn)用于精密儀器的狹小空間中， 將設(shè)備放在該墊片3的上方，由于該上塊2可通過該螺桿6的轉(zhuǎn)動(dòng)在該下塊1 的導(dǎo)軌槽中滑動(dòng)，從而在提升或降低設(shè)備的過程中可減小整個(gè)可調(diào)移動(dòng)墊鐵10 的占用空間。
當(dāng)要提升設(shè)備時(shí)，順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)該螺桿6使該上塊2的下表面022沿該導(dǎo)軌 槽011相對(duì)該下塊1的上表面012向上移動(dòng)，從而將該可調(diào)移動(dòng)墊鐵10高度增 加以調(diào)整到合適位置。
當(dāng)使用該可調(diào)移動(dòng)墊鐵IO將設(shè)備從精密儀器中移除時(shí)，逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)該螺桿 6使該上塊2的下表面022沿該導(dǎo)軌槽011相對(duì)該下塊1的上表面012向下移動(dòng)， 從而將該可調(diào)移動(dòng)墊鐵10高度減少以調(diào)整到合適位置。
提升或移動(dòng)設(shè)備完畢后，鎖緊六角法蘭螺母5，從而可調(diào)移動(dòng)墊鐵10的高 度固定，設(shè)備不產(chǎn)生晃動(dòng)。
經(jīng)由該數(shù)個(gè)壓入型鋼珠滾輪4的滾動(dòng)，可以輕松隨意移動(dòng)該可調(diào)移動(dòng)墊鐵 IO到合適的位置，以安裝或拆除"i殳備。
權(quán)利要求1.一可調(diào)移動(dòng)墊鐵，包括一具有下斜面的上塊，一具有上斜面的下塊，該上斜面與該下斜面可相對(duì)滑動(dòng)，及一螺桿，該螺桿的一端安裝在該下塊的一側(cè)，其特征在于進(jìn)一步包括數(shù)個(gè)壓入型鋼珠滾輪，其安裝在該下塊的下方；其中該螺桿的一端安裝有一螺母，并且該螺桿的另一端沿軸向延伸入該上塊的內(nèi)部。
2. 如權(quán)利要求1所述的可調(diào)移動(dòng)墊鐵，其特征在于進(jìn)一步包括 一安裝在 該上塊上方的墊片。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的可調(diào)移動(dòng)墊鐵，其特征在于該下塊的上方部 位沿軸向具有一導(dǎo)軌槽，該上塊通過該螺桿安裝在該下塊的導(dǎo)軌槽中。
4. 如權(quán)利要求3所述的可調(diào)移動(dòng)墊鐵，其特征在于該墊片為有機(jī)材料并 使用強(qiáng)力膠水安裝在該上塊的上方。
5. 如權(quán)利要求3所述的可調(diào)移動(dòng)墊鐵，其特征在于該下塊的底面與該上 塊的頂面均水平設(shè)置并且保持平行。
6. 如權(quán)利要求5所述的可調(diào)移動(dòng)墊鐵，其特征在于上述上斜面與下斜面 均為傾斜角度大于自鎖角度的斜面。
7. 如權(quán)利要求6所述的可調(diào)移動(dòng)墊鐵，其特征在于該壓入型鋼珠滾輪的 數(shù)量為4個(gè)。
8. 如權(quán)利要求6所述的可調(diào)移動(dòng)墊鐵，其特征在于上述數(shù)個(gè)壓入型鋼珠 滾輪，其經(jīng)由過盈配合的方式安裝在該下塊的下方。
專利摘要本實(shí)用新型提出了一種可調(diào)移動(dòng)墊鐵，其包括一具有下斜面的上塊，一具有上斜面的下塊，該上斜面與上述下斜面可相對(duì)滑動(dòng)；一螺桿，該螺桿的一端安裝在該下塊的一側(cè)，并且該端依次安裝有一六角法蘭螺母，該螺桿的另一端沿軸向延伸入該上塊的內(nèi)部；復(fù)數(shù)個(gè)壓入型鋼珠滾輪，其經(jīng)由過盈配合的方式安裝在該下塊的下方。該可調(diào)移動(dòng)墊鐵可水平移動(dòng)待安裝設(shè)備，并且在移動(dòng)和提升設(shè)備時(shí)，特別是在狹小空間移動(dòng)和提升設(shè)備時(shí)，保證設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行，在安裝設(shè)備時(shí)保證設(shè)備穩(wěn)定不動(dòng)。
文檔編號(hào)F16M7/00GK201141505SQ20072007604
公開日2008年10月29日 申請(qǐng)日期2007年11月13日 優(yōu)先權(quán)日2007年11月13日
發(fā)明者育 劉, 吳榮基, 袁志揚(yáng) 申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司