技術(shù)編號：5810623
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種氣體輸送裝置，尤其涉及一種適用于半導(dǎo)體工藝的氣體輸送裝置背景技術(shù)隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體工藝日趨復(fù)雜，對生產(chǎn)半導(dǎo)體制品的生產(chǎn)設(shè)備和 生產(chǎn)工藝也提出了更高的要求，對于半導(dǎo)體制品，例如有機(jī)發(fā)光顯示器件、液晶顯示器件、 非晶硅太陽能電池板等，其工藝流程中諸多步驟都要使用到氣體，例如半導(dǎo)體制程中的干 蝕刻、氧化、離子布植、薄膜沉積等皆使用到相當(dāng)多的氣體，而氣體的純度、氣體的輸送裝 置、氣體的輸送方式則對半導(dǎo)體制品性能、良品率等有著決定性的影響...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。