技術(shù)編號：5870001
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種檢測發(fā)光二極管晶粒外觀的檢測裝置及檢測方法，尤其涉及一種。背景技術(shù)芯片的不合格率降低及產(chǎn)量提高是目前業(yè)界相互競爭的指標(biāo)，但是整體上仍有 3%的不合格率，在電子芯片制造上大致會有黃光區(qū)、沉積區(qū)、擴(kuò)散區(qū)、植入?yún)^(qū)、切割區(qū)及測試區(qū)等各流程，這些不合格率可能來自于上述流程的任何一區(qū)，而這些不良芯片可能有刮傷或擴(kuò)散不完全等特點(diǎn)，所以在色澤上會與良好的芯片有少許的不同，經(jīng)由人工目視的方式將不良芯片點(diǎn)上墨水a(chǎn)nk)辨識，再將那些不良的芯片從整片大晶片中挑出剃...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。