技術編號：5937587
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。微機電半導體器件傳感器本發(fā)明涉及一種微機電半導體器件，其帶有半導體材料構成的彎曲元件以及在彎曲元件內部的對機械應力敏感的晶體管。本發(fā)明尤其是涉及一種在通常的半導體制造工藝方面兼容的微機電器件，其耗電低，并且尤其是涉及一種耗電低的微機電CMOS壓力傳感器或者CMOS加速度傳感器。可以用作壓力傳感器或者加速度傳感器的微機電半導體器件原則上已知，并且在實踐中證明是可用的。這種微機電半導體器件通常具有在外部作用力的影響下能夠可逆變形的彎曲元件，該彎曲元件可以是膜、...
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