技術(shù)編號(hào)：5962306
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及酸混合液中各種酸濃度的測(cè)定方法，尤其是一種在線準(zhǔn)確測(cè)定和控制ITO蝕刻液中各種酸濃度的方法。背景技術(shù)目前透明導(dǎo)電氧化物應(yīng)用最廣泛及價(jià)值最大的場(chǎng)合是，在平板顯示制造業(yè)中，使用氧化銦錫(Indium-tin-oxide, ΙΤ0)制作Array工段的透明電極。ITO膜是利用派射等方法在基板上形成的，然后以抗蝕劑等為掩膜，光罩顯影圖案，并用蝕刻液蝕刻ITO膜，再剝離光刻膠，從而在基板上形成所需的電極圖案。ITO膜在高溫(230°C左右)可形成多晶結(jié)構(gòu)，...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。