技術(shù)編號(hào)：6010581
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及對(duì)平板顯示器(FPD)用玻璃基板等大型基板實(shí)施等離子體處理的等離子體處理裝置、基板保持機(jī)構(gòu)、基板位置偏移檢測(cè)方法。背景技術(shù)在FPD的面板制造中，一般在由玻璃等絕緣體構(gòu)成的基板上形成像素的設(shè)計(jì)或電極、配線等。在這樣的面板制造的各種工序中，蝕刻、CVD、灰化、濺射等微細(xì)加工由等離子體處理裝置進(jìn)行。等離子體處理裝置例如在能夠減壓的處理容器內(nèi)將基板載置在具有構(gòu)成下部電極的基座的載置臺(tái)上，對(duì)基座供給高頻電力，從而在基板上形成處理氣體的等離子體， 利用該等離...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。