技術(shù)編號:6041476
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。動(dòng)鏡環(huán)形干涉儀本實(shí)用新型涉及一種動(dòng)鏡干涉儀,尤其涉及一種動(dòng)鏡環(huán)形干涉儀。背景技術(shù)目前在光學(xué)干涉測量領(lǐng)域有許多經(jīng)典的動(dòng)鏡干涉儀如麥克耳遜干涉儀、馬 赫曾德干涉儀等得到廣泛的應(yīng)用,動(dòng)鏡干涉儀具有光程差可調(diào),利于控制等優(yōu) 點(diǎn)。但是由于麥克耳遜干涉儀的動(dòng)鏡對傾斜非常敏感,因此誤差要求極嚴(yán),在 制造和裝配中都會形成很大的困難。因此如何解決動(dòng)鏡對傾斜敏感已成為一個(gè) 有待解決的技術(shù)問題。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型涉及一種動(dòng)鏡環(huán)形干涉儀,其解決了現(xiàn)有麥克耳遜干涉儀的動(dòng) 鏡對傾...
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