專利名稱：動鏡環(huán)形干涉儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
動鏡環(huán)形干涉儀
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種動鏡干涉儀，尤其涉及一種動鏡環(huán)形干涉儀。背景技術(shù)：
目前在光學干涉測量領(lǐng)域有許多經(jīng)典的動鏡干涉儀如麥克耳遜干涉儀、馬 赫曾德干涉儀等得到廣泛的應用，動鏡干涉儀具有光程差可調(diào)，利于控制等優(yōu) 點。但是由于麥克耳遜干涉儀的動鏡對傾斜非常敏感，因此誤差要求極嚴，在 制造和裝配中都會形成很大的困難。因此如何解決動鏡對傾斜敏感已成為一個 有待解決的技術(shù)問題。
實用新型內(nèi)容
本實用新型涉及一種動鏡環(huán)形干涉儀，其解決了現(xiàn)有麥克耳遜干涉儀的動 鏡對傾斜非常敏感的技術(shù)問題。
本實用新型的技術(shù)解決方案是
一種動鏡環(huán)形干涉儀，包括第一透鏡l，分束鏡2，所述分束鏡2將從物方
入射的光線分為兩路，所述兩路光線包括反射光線3和透射光線4，所述反射光 線3反方向設(shè)有探測器5，所述第一透鏡1設(shè)置于分束鏡2與探測器5之間，其 特殊之處在于所述反射光線3光路上設(shè)置有雙面反射鏡6，所述反射光線3入 射雙面反射鏡6的一面；所述透射光線4經(jīng)過至少3個具有反射能力的光學器 件構(gòu)成的回路入射到雙面反射鏡6的另一面。
上述分束鏡2在從物方入射來的方向還設(shè)置有第二透鏡7。
3上述雙面反射鏡6為移動式雙面反射鏡。
上述兩路光線中還包括光楔，有時光路準心偏差時可以用于調(diào)整光路準心。
上述具有反射能力的光學器件為反射鏡或棱鏡。
上述反射鏡或棱鏡為移動式反射鏡或棱鏡。
本實用新型的動鏡為雙面反射鏡，由于它兩面反射且反射面相互平行，因 此具有對傾斜誤差不敏感的優(yōu)點，具有更好的環(huán)境適應性，可用于更廣泛的干 涉測量領(lǐng)域。

圖l為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
參見圖1， 一種動鏡環(huán)形干涉儀，包括第一透鏡l，分束鏡2，所述分束 鏡2將從物方入射的光線分為兩路，所述兩路光線包括反射光線3和透射光線4， 所述反射光線3反方向設(shè)有探測器5，所述第一透鏡1設(shè)置于分束鏡2與探測器 5之間，反射光線3光路上設(shè)置有雙面反射鏡6，所述反射光線3入射雙面反射 鏡6的一面；所述透射光線4經(jīng)過至少3個反射鏡構(gòu)成的回路入射到雙面反射 鏡6的另一面，3個反射鏡包括第一反射鏡8、第二反射鏡9以及第三反射鏡10， 分束鏡2在從物方入射來的方向還設(shè)置有第二透鏡7，雙面反射鏡6為移動式雙 面反射鏡，3個反射鏡也可為移動式反射鏡，反射鏡還可以由棱鏡替代。
光線路徑如圖h光線從物方入射經(jīng)分束鏡2分束后形成兩路，第一路經(jīng) 分束鏡2透射后，入射到第一反射鏡8，再第一反射鏡8依次經(jīng)第二反射鏡9、 第三反射鏡10，最后到達雙面反射鏡6的一面，經(jīng)雙面反射鏡6反射后再依次 經(jīng)第三反射鏡10、第二反射鏡9及第一反射鏡8入射到分束鏡2，經(jīng)分束鏡2反射到達探測器5，第二路經(jīng)分束鏡2反射入射到雙面反射鏡6的另二面，再原
路反射回來入射到分束鏡2,經(jīng)分束鏡2透射到達探測器5。
權(quán)利要求1、一種動鏡環(huán)形干涉儀，包括第一透鏡(1)，分束鏡(2)，所述分束鏡(2)將從物方入射的光線分為兩路，所述兩路光線包括反射光線(3)和透射光線(4)，所述反射光線(3)反方向設(shè)有探測器(5)，所述第一透鏡(1)設(shè)置于分束鏡(2)與探測器(5)之間，其特征在于所述反射光線(3)光路上設(shè)置有雙面反射鏡(6)，所述反射光線(3)入射雙面反射鏡(6)的一面；所述透射光線(4)經(jīng)過至少3個具有反射能力的光學器件構(gòu)成的回路入射到雙面反射鏡(6)的另一面。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述動鏡環(huán)形干涉儀，其特征在于所述分束鏡(2) 在從物方入射來的方向還設(shè)置有第二透鏡(7)。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述動鏡環(huán)形干涉儀，其特征在于所述雙面反射鏡(6) 為移動式雙面反射鏡。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述動鏡環(huán)形干涉儀，其特征在于所述兩路 光線中還包括光楔，用于調(diào)整光路準心。
5、 根據(jù)權(quán)利要求4所述動鏡環(huán)形干涉儀，其特征在于所述具有反射能力 的光學器件為反射鏡或棱鏡。
6、 根據(jù)權(quán)利要求5所述動鏡環(huán)形干涉儀，其特征在于所述反射鏡或棱鏡為移動式反射鏡或棱鏡。
專利摘要本實用新型提供一種動鏡環(huán)形干涉儀，包括第一透鏡，分束鏡，分束鏡將從物方入射的光線分為兩路，兩路光線包括反射光線和透射光線，反射光線反方向設(shè)有探測器，第一透鏡設(shè)置于分束鏡與探測器之間，反射光線光路上設(shè)置有雙面反射鏡，反射光線入射雙面反射鏡的一面；透射光線經(jīng)過至少個具有反射能力的光學器件構(gòu)成的回路入射到雙面反射鏡的另一面。其解決了現(xiàn)有麥克耳遜干涉儀的動鏡對傾斜非常敏感的技術(shù)問題。具有對傾斜誤差不敏感的優(yōu)點。
文檔編號G01B9/02GK201314819SQ20082022179
公開日2009年9月23日 申請日期2008年10月9日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月9日
發(fā)明者陳立武 申請人:中國科學院西安光學精密機械研究所