技術(shù)編號(hào)：6117252
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于短波段成像光學(xué)領(lǐng)域，具體的說是一種極紫外成像 光學(xué)儀器成像質(zhì)量測試裝置。 背景技術(shù)對(duì)成像光學(xué)儀器系統(tǒng)的成像質(zhì)量評(píng)價(jià)是光學(xué)儀器研發(fā)過程中必 不可少的環(huán)節(jié)，也是儀器應(yīng)用功能驗(yàn)證的重要指標(biāo)之一。光學(xué)系統(tǒng)成 像質(zhì)量評(píng)價(jià)方法主要有星點(diǎn)法、刀口法、陰影法、分辨率測量、調(diào)制 傳遞函數(shù)測量等。其中分辨率測量是最簡單，最直接的方法。 一般情 況下，大多數(shù)可見或紅外光學(xué)儀器系統(tǒng)采用分辨率測量的的檢測方法 和裝置如參考圖l，表述如下光源1產(chǎn)生的平行光通過鑒別率板2 后...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。