專利名稱：一種6nm-100nm波段極紫外成像光學(xué)儀器成像質(zhì)量測(cè)試裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于短波段成像光學(xué)領(lǐng)域，具體的說(shuō)是一種極紫外成像 光學(xué)儀器成像質(zhì)量測(cè)試裝置。
背景技術(shù)：
對(duì)成像光學(xué)儀器系統(tǒng)的成像質(zhì)量評(píng)價(jià)是光學(xué)儀器研發(fā)過(guò)程中必 不可少的環(huán)節(jié)，也是儀器應(yīng)用功能驗(yàn)證的重要指標(biāo)之一。光學(xué)系統(tǒng)成 像質(zhì)量評(píng)價(jià)方法主要有星點(diǎn)法、刀口法、陰影法、分辨率測(cè)量、調(diào)制 傳遞函數(shù)測(cè)量等。其中分辨率測(cè)量是最簡(jiǎn)單，最直接的方法。 一般情 況下，大多數(shù)可見(jiàn)或紅外光學(xué)儀器系統(tǒng)采用分辨率測(cè)量的的檢測(cè)方法 和裝置如參考圖l，表述如下光源1產(chǎn)生的平行光通過(guò)鑒別率板2 后經(jīng)反射鏡3和4，最后經(jīng)過(guò)待檢成像系統(tǒng)5在探測(cè)器6上成像，根 據(jù)所成影像中鑒別率板的線對(duì)的清晰程度，經(jīng)過(guò)計(jì)算既可得到待檢成 像光學(xué)系統(tǒng)的分辨率數(shù)據(jù)。
隨著極紫外光刻光學(xué)和空間高分辨率極紫外成像光學(xué)系統(tǒng)研究 的深入，迫切需要一種能在極紫外波段檢測(cè)該波段光學(xué)成像系統(tǒng)的成 像質(zhì)量的裝置。對(duì)于極紫外成像光學(xué)系統(tǒng)的成像質(zhì)量尤其是分辨率的
檢測(cè)用前面所述的通常做法是無(wú)法實(shí)現(xiàn)的。這是因?yàn)闃O紫外光無(wú)法
在除真空以外的任何其它介質(zhì)中傳播,而常規(guī)的分辨率板都是在石英
玻璃或其它光學(xué)材料上進(jìn)行刻畫(huà)而得到的，所以用常規(guī)的分辨率板不
能實(shí)現(xiàn)極紫外成像系統(tǒng)成像質(zhì)量檢測(cè)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于:參照普通成像光學(xué)儀器系統(tǒng)成像質(zhì)量檢測(cè)方 法，設(shè)計(jì)一種能夠用于極紫外成像光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量檢測(cè)的裝置。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，在本發(fā)明中設(shè)計(jì)了如圖2所表示的檢測(cè)裝置， 整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)均處于真空條件下，極紫外光源1發(fā)出極紫外光束經(jīng)過(guò) 精密刻畫(huà)的金屬柵網(wǎng)7后，打到反射鏡3和4，最后經(jīng)過(guò)待測(cè)極紫外 成像光學(xué)系統(tǒng)5在極紫外相機(jī)6上成像，金屬柵網(wǎng)的網(wǎng)格尺度與所成 的像進(jìn)行比較，經(jīng)過(guò)計(jì)算即可得到待測(cè)光學(xué)系統(tǒng)的分辨率數(shù)據(jù)。
極紫外光源可選擇空心陰極光源或者激光等離子體光源，網(wǎng)柵可 通過(guò)微機(jī)械加工方法、常規(guī)光刻或者同步輻射LIGA工藝獲得，網(wǎng)柵 網(wǎng)格精度2—25um.。用金屬鎳制成。
本發(fā)明的有益效果為提供了一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、性能可靠能夠?qū)?極紫外成像光學(xué)儀器成像質(zhì)量進(jìn)行測(cè)試的裝置。


圖1為大多數(shù)可見(jiàn)或紅外光學(xué)儀器系統(tǒng)采用分辨率測(cè)量的的檢 測(cè)方法和裝置。
圖2為本發(fā)明極紫外成像光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量檢測(cè)的裝置。 圖3為金屬網(wǎng)柵的放大照片。 其中圖2為說(shuō)明書(shū)摘要附圖。
具體實(shí)施例方式
具體實(shí)施方式
l:
整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)均處于真空條件下，極紫外光源1發(fā)出極紫外光束
經(jīng)過(guò)精密刻畫(huà)的金屬柵網(wǎng)7后，打到反射鏡3和4，最后經(jīng)過(guò)待測(cè)極 紫外成像光學(xué)系統(tǒng)5在極紫外相機(jī)6上成像，金屬柵網(wǎng)的網(wǎng)格尺度與 所成的像進(jìn)行比較，經(jīng)過(guò)計(jì)算即可得到待測(cè)光學(xué)系統(tǒng)的分辨率數(shù)據(jù)。 極紫外光源可選擇空心陰極光源，網(wǎng)柵可通過(guò)微機(jī)械加工方法、 獲得，網(wǎng)柵網(wǎng)格精度19um.。用金屬鎳制成。
具體實(shí)施方式
2:
整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)均處于真空條件下，極紫外光源1發(fā)出極紫外光束 經(jīng)過(guò)精密刻畫(huà)的金屬柵網(wǎng)7后，打到反射鏡3和4，最后經(jīng)過(guò)待測(cè)極 紫外成像光學(xué)系統(tǒng)5在極紫外相機(jī)6上成像，金屬柵網(wǎng)的網(wǎng)格尺度與 所成的像進(jìn)行比較，經(jīng)過(guò)計(jì)算即可得到待測(cè)光學(xué)系統(tǒng)的分辨率數(shù)據(jù)。
極紫外光源選擇激光等離子體光源，網(wǎng)柵可通過(guò)同步輻射LIGA 工藝獲得，網(wǎng)柵網(wǎng)格精度13um.。用金屬鎳制成。
具體實(shí)施方式
3:
整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)均處于真空條件下，極紫外光源1發(fā)出極紫外光束 經(jīng)過(guò)精密刻畫(huà)的金屬柵網(wǎng)7后，打到反射鏡3和4，最后經(jīng)過(guò)待測(cè)極 紫外成像光學(xué)系統(tǒng)5在極紫外相機(jī)6上成像，金屬柵網(wǎng)的網(wǎng)格尺度與 所成的像進(jìn)行比較，經(jīng)過(guò)計(jì)算即可得到待測(cè)光學(xué)系統(tǒng)的分辨率數(shù)據(jù)。
極紫外光源選擇激光等離子體光源，網(wǎng)柵通過(guò)同步輻射LIGA 工藝獲得，網(wǎng)柵網(wǎng)格精度2lim.。用金屬鎳制成。
權(quán)利要求
1、一種6nm-100nm波段極紫外成像光學(xué)儀器成像質(zhì)量測(cè)試裝置，光源(1)產(chǎn)生的平行光通過(guò)鑒別率板(2)后經(jīng)反射鏡(3)和(4)，最后經(jīng)過(guò)待檢成像系統(tǒng)(5)在探測(cè)器(6)上成像，根據(jù)所成影像中鑒別率板的線對(duì)的清晰程度，經(jīng)過(guò)計(jì)算既可得到待檢成像光學(xué)系統(tǒng)的分辨率數(shù)據(jù)，其特征是所述鑒別率板(2)是精密刻畫(huà)的金屬柵網(wǎng)(7)。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種6nm—100nm波段極紫外成像光學(xué) 儀器成像質(zhì)量測(cè)試裝置，其特征是所述光源(1)為激光等離子體 極紫外光源。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種6nm—100nm波段極紫外成像 光學(xué)儀器成像質(zhì)量測(cè)試裝置，其特征是所述網(wǎng)柵網(wǎng)格精度2—25U m.。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種6nm—100nm波段極紫外成像光學(xué) 儀器成像質(zhì)量測(cè)試裝置，其特征是所述網(wǎng)柵用金屬鎳制成。
全文摘要
本發(fā)明屬于短波段成像光學(xué)領(lǐng)域，具體的說(shuō)是一種極紫外成像光學(xué)儀器成像質(zhì)量測(cè)試裝置。在本發(fā)明中設(shè)計(jì)了如圖所表示的檢測(cè)裝置，整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)均處于真空條件下，極紫外光源1發(fā)出極紫外光束經(jīng)過(guò)精密刻畫(huà)的金屬柵網(wǎng)7后，打到反射鏡3和4，最后經(jīng)過(guò)待測(cè)極紫外成像光學(xué)系統(tǒng)5在極紫外相機(jī)6上成像，金屬柵網(wǎng)的網(wǎng)格尺度與所成的像進(jìn)行比較，經(jīng)過(guò)計(jì)算即可得到待測(cè)光學(xué)系統(tǒng)的分辨率數(shù)據(jù)。本發(fā)明的有益效果為提供了一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、性能可靠能夠?qū)O紫外成像光學(xué)儀器成像質(zhì)量進(jìn)行測(cè)試的裝置。
文檔編號(hào)G01M11/00GK101169349SQ20061016327
公開(kāi)日2008年4月30日 申請(qǐng)日期2006年12月18日 優(yōu)先權(quán)日2006年12月18日
發(fā)明者巖 鞏 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所